唐烨 作品数:4 被引量:21 H指数:3 供职机构: 中国电子科技集团公司 更多>> 相关领域: 电子电信 更多>>
金刚石在太赫兹电真空器件中的应用 被引量:5 2013年 金刚石材料具有低的介电常数、小的微波损耗、良好的导热性能,成为太赫兹电真空器件发展过程中非常有研究价值和应用价值的材料。它可以作为输能窗的介质窗片和高频结构的介质支撑材料。本文介绍了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石材料在太赫兹电真空器件中的具体应用实例,以及在W波段行波管中的实际应用情况,包括MPCVD金刚石的制备过程,及其与金属材料的封接工艺。研制出的W波段金刚石窗冷测结果显示其在75 GHz-110 GHz频段内性能良好:驻波系数(VSWR)≤1.5,传输损耗≤0.5 dB。这种窗已经成功用于W波段折叠波导连续波与脉冲行波管中。 杜英华 胡银富 丁明清 李莉莉 蔡军 唐烨 刘京恺 冯进军关键词:太赫兹 金刚石 微波等离子体化学气相沉积 采用UV-LIGA技术制作340GHz折叠波导慢波结构 被引量:5 2013年 紫外光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术是制作太赫兹真空电子器件(包括谐振腔、电子注通道和输出波导等)的重要方法。采用UV-LIGA技术制作340 GHz折叠波导慢波结构,研究前烘、曝光量、后烘对SU8胶模的影响,着重讨论了曝光量的影响并分析其原因,得出最佳工艺。另外,本文还对去胶进行了初步研究,获得了全铜的340 GHz的折叠波导结构。 李含雁 白国栋 李兴辉 唐烨 冯进军关键词:紫外光刻 曝光量 340GHz返波振荡器输能窗的设计与实验 被引量:1 2014年 为340 GHz返波振荡器设计了输能窗,并对其进行了设计分析及仿真模拟计算。计算结果表明,该窗在327 GHz^347 GHz频段内的反射系数优于30 d B。对窗片进行金属化,焊接输能窗,封接出气密性良好的输能窗,对输能窗进行测试。测试结果表明,该窗在333 GHz^367 GHz频段内反射系数优于10 d B,其中,在336 GHz^344 GHz频段内优于15 d B,传输损耗7 d B左右。对模拟结果与实测结果的偏差进行了分析,为进一步优化输能窗奠定基础。 唐烨 冯进军关键词:太赫兹 返波振荡器 反射系数 传输损耗 340GHz太赫兹返波振荡器 被引量:11 2013年 介绍太赫兹返波振荡器的发展,重点对340 GHz返波振荡器的设计、模拟和微细加工等研究工作进行了详细介绍。采用平行流电子枪、均匀永磁聚焦系统和折叠波导慢波结构来实现340 GHz返波振荡器,计算和模拟结果表明,当调谐电压14 kV^16.2 kV,工作电流8 mA时,在337 GHz^347 GHz的频率范围内可得到10 mW输出功率。高频结构加工采用UV LIGA技术,已经加工出高频结构样品,并对真空环境应用做了研究,以保证较小的表面粗糙度,减小高频率情况下的射频损耗。 冯进军 唐烨 李含雁 刘京恺 蔡军 胡银富 邬显平关键词:太赫兹 真空器件 返波振荡器 微机电系统技术 LIGA技术