孙宏明
- 作品数：6 被引量：5H指数：1
- 供职机构：厦门大学更多>>
- 相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
- 基于MEMS的压电超声技术的研究
- 本文主要研究基于MEMS的压电超声技术，包括超声检测、超声微流体驱动技术和ZnO压电薄膜材料及器件的研究，研究课题属于当前微机电系统中较为前沿和创新的学科领域，如下所述：
1、超声共振谱技术(Resonant ...
- 孙宏明
- 关键词：超声检测
- 文献传递
- 应用于超声共振检测的PZT/Si复合材料换能器被引量：1
- 2008年
- 提出并设计了一种应用于超声共振检测的PZT/Si复合材料圆片换能器。该换能器是将一小硅片粘贴在PZT压电片上复合而成,硅片中心已有一个应用MEMS技术加工制造的倒金字塔小坑。这使得待测样品很容易安装在超声共振谱检测的平台上,并能提高测量的精确度。文中利用ANSYS对该换能器和单独PZT-4压电片换能器进行比较分析,得出了不同结构在相同电压和外力作用下产生的静态位移结果以及共振频率,并讨论了复合结构参数对换能器工作灵敏度的影响。结果表明,复合换能器的灵敏度仅降低4%~4.8%,可以应用在超声共振谱检测中。
- 孙宏明张志强郭航
- ZnO压电薄膜的生长与应用被引量：1
- 2008年
- 本文实验研究了ZnO压电薄膜的生长与表征,运用XRD和SEM测试了磁控溅射生长的ZnO压电薄膜的C轴择优取向生长情况和晶粒质量,比较了Si、覆盖在Si基底上的Al薄膜和SixNy薄膜三种材料衬底以及退火处理对ZnO薄膜的结晶质量的影响。还开发了仍然采用Al作为底电极但用一层SixNy薄膜与ZnO层隔离的MEMS压电器件的微制造工艺,以满足生长高质量的ZnO压电薄膜并与CMOS工艺兼容的要求。
- 孙宏明郭航
- 关键词：ZNO薄膜磁控溅射退火XRDMEMS器件
- 氧化锌压电薄膜的生长与表征
- 本文通过实验研究用磁控溅射技术生长的ZnO压电薄膜，运用XRD和SEM来测试ZnO薄膜的C轴择优取向生长情况和晶粒质量，比较了Si、覆盖在Si基底上的Al薄膜和SixNy薄膜三种材料衬底和退火处理对ZnO薄膜的结晶质量的...
- 孙宏明张翊郭航
- 关键词：磁控溅射压电薄膜氧化锌退火处理压电器件
- 文献传递
- 超声波激励微管道内的流场研究
- 本文首先应用声流的基本理论，建立起基于MEMS技术制造的微流体装置的一维解析模型，分析了声场对微管道内流体运动的影响，并利用有限元分析软件ANSYS对超声波激励的微管道进行流体-结构耦合场数值分析，得到微管道内声压、频率...
- 孙宏明郭航
- 关键词：声流微管道解析模型有限元分析
- 文献传递
- 微流体装置中超声流的研究被引量：3
- 2008年
- 应用流体动力学的基本理论,建立起声流场的一维解析模型,对声波在管道内部传播时产生的声场和声流运动进行探讨。然后提出并设计了一种利用PZT激励微管道振动产生超声场的新型微流体装置。该装置为由微管道相连接的两个微腔体,并利用有限元法对超声波激励的微管道和腔体进行瞬态的流场数值分析,得到一阶声压和流场的速度分布结果,最后对数值结果进行处理并讨论了超声波在管道内传播时产生的声流速度以及驱动力的分布情况。
- 孙宏明郭航
- 关键词：微流体ANSYS驱动力
