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常俊杰
作品数:
4
被引量:2
H指数:1
供职机构:
南京大学电子科学与工程学院超导电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
国家教育部博士点基金
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
陈健
南京大学电子科学与工程学院超导...
许伟伟
南京大学电子科学与工程学院超导...
朱冉
南京大学电子科学与工程学院超导...
吉争鸣
南京大学电子科学与工程学院超导...
沈丹丹
南京大学电子科学与工程学院超导...
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超导量子比特中铝超导隧道结的性能
被引量:2
2011年
超导隧道结约瑟夫森结是超导量子比特的基本元件.用双层光刻胶构成悬空掩模,用电子束斜蒸发的方法制备Al/Al2O3/Al隧道结,用一定的氧气气压氧化铝膜作为势垒层.势垒层质量直接影响铝超导隧道结的各项电学参数.深入研究了铝超导隧道结的超导临界电流密度Jc和面积归一化电阻Rc(正常态电阻RN与结面积的乘积)与势垒层生长条件的关系,通过改变势垒层生长的氧分压与氧化时间来控制铝超导隧道结的Jc和Rc,以使此工艺所制备的铝隧道结漏电流小,结参数易于控制,满足制备超导量子比特的要求.
沈丹丹
朱冉
许伟伟
常俊杰
吉争鸣
孙国柱
曹春海
陈健
关键词:
隧道结
电子束蒸发
超导量子比特
利用电子束与深紫外光学曝光技术制备悬空掩膜的工艺研究
量子计算已成为国际热点研究课题,超导约瑟夫森结是实现超导量子比特的基本组件。我们在超导量子比特基本组件——约瑟夫森结的制备工艺及其特性方面做了深入细致的研究工作,采用悬空掩模结构法和电子束斜蒸发法的制备工艺,此工艺制备的...
常俊杰
关键词:
电子束曝光技术
制备铝超导隧道结的工艺及控制其结性能的研究
沈丹丹
许伟伟
常俊杰
朱冉
梁敏
吉争鸣
陈健
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