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张束清
作品数:
39
被引量:66
H指数:6
供职机构:
中国科学院等离子体物理研究所
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安徽省自然科学基金
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余增亮
中国科学院等离子体物理研究所离...
李军
中国科学院等离子体物理研究所
吴李君
中国科学院等离子体物理研究所离...
王相勤
中国科学院等离子体物理研究所
吴跃进
中国科学院等离子体物理研究所
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张束清
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1999
1篇
1997
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1996
共
39
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5.5MeV静电加速器的研制和安装
被引量:2
1999年
本文介绍了一台用于离子束生物工程的5.5MeV静电加速器的基本原理、结构和性能,并报道了其研制。
詹福如
胡素华
陈斌
张束清
李军
胡纯栋
余增亮
王绍虎
卞坡
霍裕平
关键词:
静电加速器
离子源
加速管
总控系统
电子回旋共振等离子体刻蚀机
任兆杏
史义才
丁振峰
李忆馥
张束清
郭射宇
戴松元
程健
匡靖安
刘卫
王瑜
沈克明
在自行研制的电子回旋共振等离子体刻蚀样机上,成功地进行了多晶硅、氮化硅和二氧化硅等多种薄膜0.8~1.2微米重复性好、图形保真高的刻蚀;利用电子束曝光技术,获得深亚微米刻蚀的初步结果。本机刻蚀速率高、片间均匀性好,3″、...
关键词:
关键词:
电子回旋共振
光刻机
离子束生物材料修饰技术与装置
余增亮
姚建铭
吴跃进
许安
吴李君
杨建波
邵春林
王相勤
胡素华
程备久
陈兵
张束清
王纪
余立祥
冯惠云
刘军红
发明了离子注入活体材料及冰冻水溶液的装置,开辟了离子束应用的新技术领域。主要内容:诱变育种新技术;外源基因导入的新途径;用于微束细胞加工、细胞手术,发展细胞工程;离子束生物材料改性;特点:开辟低能离子束生物材料改性研究的...
关键词:
关键词:
离子束
诱变育种
离子束生物技术研究和应用
余增亮
吴跃进
吴李君
陈斌
李军
张束清
胡素华
冯慧云
刘军红
王纪
王绍虎
姚建铭
詹福如
余立祥
刘星海
该项目集成低能加速器和生物学科的技术,发展离子注入宽束技术和细胞单粒子精确定位辐照的微束技术。项目研制成功了束径5微米、定位精度±2微米、记数准确率98%等高精度单粒子束精确定位辐照装置、小型化、实用化离子束育种装置,并...
关键词:
关键词:
离子束
生物技术
辐照
轴瓦减摩层真空溅射镀实验研究
史义才
邬钦崇
旋嘉标
陈强
刘卫
沈克明
张束清
该研究采用先进的真空镀代替传统的电镀工艺。主要指标达到:膜厚≥20μm,表面光洁,膜质细密,粘附力达到国家标准(GB1151-82)《内燃机主轴瓦及连轴瓦技术条件》中的有关指标,轴瓦镀层的兰宝石疲劳强度70~75MPa,...
关键词:
关键词:
金属覆层
真空镀膜
七厘米双潘宁离子源
任兆杏
刘育坤
王永诚
陈行倩
宁兆元
张束清
阎继红
何建军
离子源已达到指标:氢离子引出电流4.2埃;引出电压28KV;束用(半)0.6埃;脉宽20ms。可供实验应用。本类型离子源是应聚变研究的需要发展的,在其它领域的应用正中显露之中。
关键词:
关键词:
聚变反应
离子加速器
利用离子束构筑凹凸棒土纳米网络的方法
本发明公开了一种利用离子束构筑凹凸棒土纳米网络的方法,(1)凹凸棒土样品预处理:凹凸棒土原土加入纯水中在高速搅拌,得到凹凸棒土悬浊液,然后除去杂质;然后经过超声处理,烘干得到纯化的凹凸棒土粉末;将纯化的凹凸棒土粉末加入到...
蔡冬清
吴正岩
余增亮
吴跃进
张束清
袁航
王相勤
文献传递
“503”圆膛实验电磁炮的研制和实验
任兆杏
许家治
沈克明
王永诚
李佳民
宁兆元
高大明
张束清
刘彦琴
陈思跃
卢相玉
刘霞
戴松元
王汉初
叶寂明
施强
程健
聂立新
王晓杰
孙燕
徐玉珍
凌峰
姚爱芳
孙世洪
王穗荣
姚达毛
李亚宏
吴金智
刘志刚
余启云
采用前级箍缩型等离子体电热炮和主加速轨道炮串接加速方案;首次研制圆膛炮;以LiH为前级炮速燃剂提高主炮注入速度,减轻对轨道炮炭化和烧蚀;电源控制可靠地分时投入;诊断、测量手段齐全。以等离子体电枢和1.26MA峰值电流,将...
关键词:
四级线圈炮的研制和实验
任兆杏
施强
程健
汤添生
王永诚
杨道文
隋毅峰
张束清
卢相玉
史琳
四级线圈炮由长为90公分的身管和四个20公分长、独立固定的加速线圈组成。采用电容器作电源,可控硅作开关,给四个线圈依次通电时,便产生移动磁场。磁场吸引磁性电枢对载荷产生推力。使用该炮加速数十公斤重的载荷,调节四个线圈的放...
关键词:
关键词:
线圈
微波电子回旋共振等离子体刻蚀研究
被引量:7
1996年
研究了线圈、多极混合磁位形ECR等离子体及刻蚀特性。静电探针测量结果表明,在φ200mm,φ100mm范围内等离子体离子流强径向不均匀性为±21.5%,±5.3%。4英寸片片内刻蚀不均匀性≤±0.5%,0.25μm线宽刻蚀方向性为0.75。并结合等离子体特性及刻蚀机理,对有关结果进行了分析。
丁振峰
任兆杏
史义才
张束清
戴松元
关键词:
反应离子刻蚀
电子回旋共振
亚微米
刻蚀
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