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李建树
作品数:
3
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供职机构:
北京建筑工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
环境科学与工程
动力工程及工程热物理
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合作作者
贾力
北方交通大学机械与电子控制工程...
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机构
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作者
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贾力
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李建树
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1篇
中国工程热物...
年份
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2006
1篇
2004
1篇
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蓄热换热与有害气体分解的实验研究
2006年
采用蜂窝陶瓷蓄热换热器实现高温烟气与空气的高效换热,实验研究了蓄放热时间对高温温度场均匀性的影响, 探讨了蓄热周期对烟气和空气进出口温度特性的影响,利用燃烧产物实现了四氟化炭高温分解。
贾力
李建树
关键词:
高温分解
芯片加工工程中有害气体处理方法探讨
本文介绍了半导体芯片加工过程中产生有害气体的处理方法,通过对几种处理技术的分析比较,提出了采用高温空气燃烧技术代替传统电加热和燃料燃烧的可能性.
李建树
贾力
关键词:
温室效应气体
反应机理
芯片加工
半导体芯片
文献传递
蓄热换热与有害气体分解的实验研究
采用蜂窝陶瓷蓄热换热器实现高温烟气与空气的高校换热,实验研究了蓄放热时间对高温温度场均匀性的影响,探讨了蓄热周期对烟气和空气进出口温度特性的影响,利用燃烧产物实现了四氟化碳高温分解.
贾力
李建树
关键词:
换热器
文献传递
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