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李建树

作品数:3 被引量:0H指数:0
供职机构:北京建筑工程学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:环境科学与工程动力工程及工程热物理更多>>

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇动力工程及工...
  • 2篇环境科学与工...

主题

  • 1篇温室效应
  • 1篇温室效应气体
  • 1篇芯片
  • 1篇芯片加工
  • 1篇换热
  • 1篇换热器
  • 1篇反应机理
  • 1篇高温分解
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体芯片

机构

  • 3篇北京建筑工程...
  • 2篇北方交通大学
  • 1篇北京交通大学

作者

  • 3篇贾力
  • 3篇李建树

传媒

  • 1篇工程热物理学...
  • 1篇中国工程热物...
  • 1篇中国工程热物...

年份

  • 1篇2006
  • 1篇2004
  • 1篇2003
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
蓄热换热与有害气体分解的实验研究
2006年
采用蜂窝陶瓷蓄热换热器实现高温烟气与空气的高效换热,实验研究了蓄放热时间对高温温度场均匀性的影响, 探讨了蓄热周期对烟气和空气进出口温度特性的影响,利用燃烧产物实现了四氟化炭高温分解。
贾力李建树
关键词:高温分解
芯片加工工程中有害气体处理方法探讨
本文介绍了半导体芯片加工过程中产生有害气体的处理方法,通过对几种处理技术的分析比较,提出了采用高温空气燃烧技术代替传统电加热和燃料燃烧的可能性.
李建树贾力
关键词:温室效应气体反应机理芯片加工半导体芯片
文献传递
蓄热换热与有害气体分解的实验研究
采用蜂窝陶瓷蓄热换热器实现高温烟气与空气的高校换热,实验研究了蓄放热时间对高温温度场均匀性的影响,探讨了蓄热周期对烟气和空气进出口温度特性的影响,利用燃烧产物实现了四氟化碳高温分解.
贾力李建树
关键词:换热器
文献传递
共1页<1>
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