杨波 作品数:30 被引量:124 H指数:6 供职机构: 中国科学院声学研究所 更多>> 发文基金: 国家高技术研究发展计划 国家自然科学基金 中国科学院重点部署项目 更多>> 相关领域: 电子电信 交通运输工程 理学 一般工业技术 更多>>
基于锌扩散的InGaAs/InP平面型红外探测器快速热退火研究 2023年 系统研究了快速热退火对锌扩散的In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP PIN探测器的影响。利用电化学电容电压和二次离子质谱技术分析了退火前后Zn和净受主的浓度分布,结果表明退火过程会影响杂质浓度,但不影响扩散深度。制备了不同退火条件的In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP PIN探测器。器件测试反映,未退火的探测器在260~300K具有更低的器件电容和更高的激活能。通过暗电流成分拟合对器件暗电流机制进行分析,未退火器件表现出更低的肖克利-里德-霍尔产生复合电流和扩散电流,因而室温下未退火器件具有更高的峰值探测率。为了制备高性能低掺杂吸收层结构的平面型InGaAs探测器,快速热退火是不必要的工艺。 曹嘉晟 李淘 于一榛 于春蕾 于春蕾 杨波 杨波 李雪 邵秀梅关键词:短波红外 快速热退火 扩散 短波红外InGaAs焦平面探测器研究进展 被引量:21 2020年 短波红外InGaAs焦平面探测器具有探测率高、均匀性好等优点,在航天遥感、微光夜视、医疗诊断等领域具有广泛应用。近十年来,中国科学院上海技术物理研究所围绕高灵敏度常规波长(0.9~1.7μm)InGaAs焦平面、延伸波长(1.0~2.5μm)InGaAs焦平面以及新型多功能InGaAs探测器取得了良好进展。在常规波长InGaAs焦平面方面,从256×1、512×1元等线列向320×256、640×512、4000×128、1280×10^24元等多种规格面阵方面发展,室温暗电流密度优于5 n A/cm2,室温峰值探测率优于5×10^12cm·Hz1/2/W。在延伸波长InGaAs探测器方面,发展了高光谱高帧频10^24×256、10^24×512元焦平面,暗电流密度优于10 n A/cm^2和峰值探测率优于5×10^11cm·Hz1/2/W@200 K。在新型多功能InGaAs探测器方面,发展了一种可见近红外响应的InGaAs探测器,通过具有阻挡层结构的新型外延材料和片上集成微纳陷光结构,实现0.4~1.7μm宽谱段响应,研制的320×256、640×512焦平面组件的量子效率达到40%@0.5 m、80%@0.8 m、90%@1.55 m;发展了片上集成亚波长金属光栅的InGaAs偏振探测器,其在0°、45°、90°、135°的消光比优于20:1。 李雪 邵秀梅 李淘 程吉凤 黄张成 黄松垒 杨波 杨波 马英杰 顾溢 方家熊关键词:INGAAS 焦平面 短波红外 暗电流 探测率 非故意掺杂吸收层InP/InGaAs异质结探测器研究 被引量:1 2021年 为了获得低噪声铟镓砷(InGaAs)焦平面,需要采用高质量的非故意掺杂InGaAs(u-InGaAs)吸收层进行探测器的制备。采用闭管扩散方式,实现了Zn元素在u-InGaAs吸收层晶格匹配InP/In0.53Ga0.47As异质结构材料中的P型掺杂,利用扫描电容显微技术(SCM)对Zn在材料中的扩散过程进行了研究,结果表明,随着扩散温度和时间增加,p-n结结深显著增加,u-InGaAs吸收层材料的扩散界面相比较高吸收层浓度材料(5×10^(16) cm^(-3))趋于缓变。根据实验结果计算了530℃下Zn在InP中的扩散系数为1.27×10^(-12) cm^(2)/s。采用微波光电导衰退法(μ-PCD)提取了InGaAs吸收层的少子寿命为5.2μs。采用激光诱导电流技术(LBIC)研究了室温下u-InGaAs吸收层器件的光响应分布,结果表明:有效光敏面积显著增大,对实验数据的拟合求出了少子扩散长度LD为63μm,与理论计算基本一致。采用u-InGaAs吸收层研制的器件在室温(296 K)下暗电流密度为7.9 nA/cm^(2),变温测试得到激活能E_(a)为0.66 eV,通过拟合器件的暗电流成分,得到器件的吸收层少子寿命τ_(p)约为5.11μs,与微波光电导衰退法测得的少子寿命基本一致。 曹嘉晟 李淘 王红真 于春蕾 于春蕾 杨波 杨波 李雪 邵秀梅关键词:ZN扩散 结深 少子扩散长度 INGAAS 针对全海深载人潜水器的超短基线定位校正 2024年 针对全海深载人潜水器定位中,多基元超短基线定位系统中水听器安装偏差导致的定位精度下降问题,提出了一种定位校正方法。从超短基线定位的基本原理出发,分析基元在x、y方向的安装偏差对定位结果解算的影响,来提高超短基线定位精度。利用上述分析结果,提出相位校正与Toeplitz校正相结合的校正方法,从而提高定位精度。通过仿真和实验证明,本文算法操作简单、易于实现、效果显著,有效提高了定位精度。 熊长静 杨波 汪伟 刘烨瑶 李欣国 潘锋关键词:波达方向估计算法 薄膜电致发光器件中SiO_2层加速机制的研究 被引量:3 1997年 研究非晶SiO2缺陷能级上电子的隧道效应,移植实验的XPS芯能级谱技术,用DV-Xα计算界面SiO2/ZnS的能带断错,认为该界面处的能带断错是电子加速的主要机制. 王平 刘勇 刘勇 杨波 马义 杨波关键词:TFEL 隧道效应 电致发光器件 二氧化硅 一种水下单频信号测向方法及系统 本发明涉及目标方位测定领域,特别涉及一种水下单频信号测向方法及系统。本发明方法包括:利用信号相关计算粗时延差;利用不同间距基元相位差计算模糊数列表;根据粗时延差解相位差模糊,得到高精度的时延差估计,从而进行高精度稳定测向... 汪伟 刘烨瑶 李欣国 郭卫振 张琳园 朱敏 杨波 李传赫 熊长静 刘天立适用于水声传感器网络的混合路由协议 2024年 针对水声传感器网络中静态节点与移动节点不同路由设计需求,分析确定性路由和机会路由的特点,提出一种适用于水声传感器网络的混合路由协议(HRP-USN),将水声传感器网络区分为静态节点和移动节点开展设计。静态节点路由协议融合静态路由和动态路由优点,路由建立过程手动配置路由表,路由维护和重建过程采用联合MAC层反馈及聚焦转发控制的方式,兼顾自组织性和协议复杂性;移动节点采用机会路由,将数据以单跳方式发送到静态节点,自适应确定最优中继节点后按照已有路由传输到网关节点,利用水声信道广播特性,提升网络弱通信条件下数据包投递率。通过仿真分析,在不同节点移动速度和误码率条件下,HRP-USN数据包投递率明显优于其他传统路由协议,更加适合水声传感器网络。 郭卫振 朱敏 杨波关键词:水声传感器网络 混合路由协议 机会路由 截止波长2.2μm的平面型延伸波长InGaAs探测器 2022年 采用闭管扩散的方法成功研制了截止波长2.2μm的平面型延伸波长InGaAs探测器芯片。在分子束外延法(MBE)生长的In_(0.75)Al_(0.25)As/In_(0.75)Ga_(0.25)As/In_(0.75)Al_(0.25)As外延材料上,采用砷化锌作为扩散掺杂源、SiN_(x)作为扩散掩膜层,实现了扩散成结。分析了扩散结深和载流子侧向收集宽度、Ⅰ-Ⅴ特性、光谱响应特性和探测率,结果表明:150 K温度下,器件暗电流密度0.69 nA/cm^(2)@-10 mV,响应截止波长和峰值波长分别为2.12μm和1.97μm,峰值响应率为1.29 A/W,峰值量子效率达82%,峰值探测率为1.01×10^(12) cmHz^(1/2)/W。这些结果对后续进一步优化平面型延伸波长InGaAs焦平面探测器有重要的指导意义。 程吉凤 李雪 李雪 邵秀梅 李淘 马英杰 杨波 杨波关键词:INALAS/INGAAS 暗电流密度 量子效率 高分辨星载SAR影像正射纠正应用研究 杨波关键词:正射纠正 控制点 载人潜水器'蛟龙'号的水声通信信号处理 被引量:32 2012年 蛟龙号的水声通信机实现了世界上首次7000 m深度的潜器与母船间的图像、语音、数据和文字的水声通信传输。研究了适用于载人潜水器的水声通信信号处理。(1)它有4种通信功能:1)相干水声通信,传输速率为5~15 kbps,用于传输图像;2)非相干水声通信,传输速率300 bps,传输文字、指令和数据;3)扩频水声通信,传输速率16 bps,传输指令;4)水声语音通信,采用单边带调制技术传输语音。(2)相干水声通信信号处理方法主要是自适应多普勒补偿的多通道自优化判决反馈自适应均衡器,它与Turbo码级联工作,同时采用定长编码的小波图像压缩方法。(3)声呐线阵吊放至水中一定深度,实现空间分集合并技术。(4)太平洋水域试验表明,水声通信机的作用距离几乎覆盖了所有地球海洋的深度,7s或14s传输一幅光图或声图。 朱维庆 朱敏 武岩波 杨波 徐立军 傅翔 潘锋关键词:通信信号处理 水声通信 载人潜水器 图像压缩方法 自适应均衡器