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文献类型

  • 8篇中文期刊文章

领域

  • 5篇电子电信
  • 2篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇理学

主题

  • 3篇电子束曝光
  • 3篇像差
  • 2篇电子束曝光机
  • 2篇曝光机
  • 2篇CAD
  • 1篇单片
  • 1篇单片机
  • 1篇电磁
  • 1篇电磁场
  • 1篇电度
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  • 1篇电源
  • 1篇电子光学
  • 1篇电子式
  • 1篇电子学
  • 1篇医学仪器
  • 1篇仪器

机构

  • 8篇山东工业大学
  • 2篇山东建材学院

作者

  • 8篇杨立才
  • 4篇陈振生
  • 2篇张涛
  • 2篇张玉林
  • 2篇王孝红
  • 1篇雷海亮
  • 1篇王绍钧

传媒

  • 4篇微细加工技术
  • 2篇电子测量与仪...
  • 1篇电子学报
  • 1篇计算机应用研...

年份

  • 1篇1998
  • 1篇1997
  • 3篇1996
  • 1篇1995
  • 1篇1993
  • 1篇1991
8 条 记 录,以下是 1-8
排序方式:
电磁复合场三级几何像差方程的修正与像差系数被引量:3
1996年
本文基于作者提出的“函数逼近的数值迭代概念”,修正了电磁复合场中电子成像系统的三级几何像差方程式,给出了具有更高精度的像差计算公式和用集中参数形式描述的像差系数表达式,为像差的数值计算和电子光学系统的计算机优化设计提供了实用的理论依据。
杨立才张玉林陈振生
关键词:电子光学像差
光刻单元集的切割重组选择算法被引量:1
1995年
本文给出一个效率较高的算法。该算法,通过对VLSI设计图形的切割、重组和选择,建立光刻图形的单元图形集合──光该单元集。
王绍钧杨立才
关键词:集成电路VLSI光刻微细加工
全电子式复费率电度表的设计被引量:4
1998年
本文介绍一种全电子式复费率电度表的设计方案,给出了其工作原理、硬件配置和软件设计。该设计弥补了传统机电式复率表的不足,为电能的精确计量和电业的自动化管理提供了一条新的思路。
杨立才何立琴王孝红
关键词:电度表分时计量抄表器电能
电磁复合场中电子成像系统的计算机辅助分析被引量:1
1991年
本文利用数值仿真技术对复合场中电子成像系统的像差理论做了研究。基于一种新的计算方法编写了一套完整的像差计算程序,由此可求得任意初始条件下复合场中电子成像系统的三级几何像差。其计算精度可比传统软件的提高四倍以上,为高精度电子光路的设计提供了可靠的理论工具。
杨立才张涛裘培勇
关键词:电磁场CAD像差
电磁复合场三级几何像差方程的一种数值解法被引量:1
1993年
本文提出了利用函数逼近的数值迭代方法精确求解电磁复合场中电子成像系统三级几何像差方程式的概念,避免了传统电子光学近似计算造成的附加误差,提高了像差计算的精度,为高精度电子光学设计提供了可信的依据。
杨立才张涛裘培勇
关键词:像差电子束曝光CAD光电子学
一种新型智能化脑电图机的设计
1996年
本文介绍一种基于单片微机控制的新型脑电图机的设计方案,给出了其性能指标,设计构思及软硬件配置,并着重讨论了其前置放大器的设计与去极化电压的新方法。
杨立才王孝红陈振生
关键词:脑电图脑电图机医学仪器单片机
电子束曝光机复合调整式30kV电源
1997年
介绍了复合调整式高压电源的总体设计方案,提出实现高压电源高稳定度的关键技术措施。
陈振生雷海亮杨立才
关键词:电子束曝光机高压电源高稳定度
电子束曝光机束斑的自动测控系统被引量:3
1996年
根据亚微米电子束曝光机束斑直径、束流大小与各磁透镜电流之间的关系以及刀口法测试束斑的原理,设计了一套总线式的束斑自动测控系统。该系统以IBM—PC/AT作为主控机,系统包括用于总线扩展的总线驱动板、电子束扫描控制板和束流信号数据采集板。
陈振生杨立才张玉林
关键词:电子束曝光机自动测控系统
共1页<1>
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