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邢波

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 2篇透镜
  • 2篇透镜成像
  • 2篇透镜光纤
  • 2篇凸透镜
  • 2篇凸透镜成像
  • 2篇芯片
  • 2篇光波
  • 2篇光波导芯片
  • 2篇光纤
  • 2篇波导
  • 2篇测量方法
  • 2篇传输谱
  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇多孔硅
  • 1篇氧化硅
  • 1篇氧化硅薄膜
  • 1篇生长温度
  • 1篇硼酸
  • 1篇量程

机构

  • 4篇中国科学院

作者

  • 4篇邢波
  • 2篇余金中
  • 2篇杨富华
  • 2篇余和军
  • 2篇季安
  • 2篇王晓东
  • 1篇樊中朝

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇2007
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
短小光波导芯片的测量方法
一种短小光波导芯片的测量方法，是使用由激光器、输入透镜光纤、芯片、凸透镜、显示屏、输出透镜光纤和探测设备组成的设备进行的测量，包括：首先对经解理露出了波导端面的芯片用粘合剂粘在一段反光的材料上；在芯片的输入端采用输入透镜...
余和军余金中邢波
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短小光波导芯片的测量方法
一种短小光波导芯片的测量方法，是使用由激光器、输入透镜光纤、芯片、凸透镜、显示屏、输出透镜光纤和探测设备组成的设备进行的测量，包括：首先对经解理露出了波导端面的芯片用粘合剂粘在一段反光的材料上；在芯片的输入端采用输入透镜...
余和军余金中邢波
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一种生长二氧化硅薄膜的方法
本发明涉及半导体技术中二氧化硅薄膜生长技术领域，公开了一种生长二氧化硅薄膜的方法，包括：A.配制二氧化硅饱和溶液；B.在配制的二氧化硅饱和溶液中加入去离子水或蒸馏水，搅拌得到二氧化硅的过饱和溶液；C.在二氧化硅的过饱和溶...
王晓东季安邢波杨富华
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一种复合膜片压力传感器结构
一种复合膜片压力传感器结构，包括：一单晶硅层，该单晶硅层的一面为凹型；一多孔硅层，该多孔硅层生长在单晶硅层凹型的内表面。本发明在不影响低量程传感器灵敏度的前提下，采用多孔硅和单晶硅复合膜片，减小膜片的非线性形变，从而减小...
王晓东樊中朝季安邢波杨富华
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