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陈贤能
陈贤能
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
西安电子科技大学机电工程学院
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发文基金:
陕西省自然科学基金
陕西省科学技术研究发展计划项目
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
过润秋
西安电子科技大学机电工程学院
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西安电子科技...
作者
2篇
陈贤能
1篇
过润秋
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微计算机信息
年份
2篇
2007
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基于PLC的第二代MOCVD控制系统设计与研究
金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术是当前研制和生产先进化合物半导体材料的最主要技术。针对西安电子科技大学第二代MOCVD系统,根据系统工艺特点和要求,研究设计了一种MOCVD计算机控制系统。 本文研究的项目课...
陈贤能
关键词:
MOCVD
可编程控制器
温度控制
计算机控制系统
文献传递
基于PLC的MOCVD控制系统设计
被引量:3
2007年
针对MOCVD系统工艺的要求,设计了一种基于PLC的MOCVD计算机控制系统。本文从系统的组成、实现原理和软件设计等方面做了介绍。采用可编程控制器作为其核心控制系统,提高了系统的自动化程度,保证了系统运行的可靠性,灵活性。
过润秋
陈贤能
关键词:
PLC
MOCVD
计算机控制系统
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