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周平伟

作品数：9 被引量：3H指数：1
供职机构：西北工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇射流
  • 4篇转子
  • 4篇陀螺
  • 4篇惯性测量
  • 4篇合成射流
  • 3篇电阻
  • 3篇电阻温度系数
  • 3篇刻蚀
  • 2篇气口
  • 2篇热敏电阻
  • 2篇微泵
  • 2篇微机电系统
  • 2篇微机电系统技...
  • 2篇进气
  • 2篇进气口
  • 2篇机电系统
  • 2篇背腔
  • 2篇MEMS
  • 2篇成品率
  • 2篇电系统

机构

  • 9篇西北工业大学

作者

  • 9篇杨勇
  • 9篇周平伟
  • 8篇袁广民
  • 8篇常洪龙
  • 8篇谢建兵
  • 5篇洪水金
  • 2篇谢中建
  • 2篇宋蒙
  • 2篇郝永存
  • 2篇陈方璐

传媒

  • 2篇传感技术学报

年份

  • 1篇2014
  • 3篇2013
  • 5篇2012
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
一种悬空硅热敏电阻加工方法
本发明公开了一种悬空硅热敏电阻加工方法，属于微机电系统技术领域。该方法先刻蚀背腔，再完成悬空热敏电阻和其金属导线的制作。与现有技术相比，本发明：1.采用硅作为热敏材料，提高热敏电阻的电阻温度系数。2.经本方法可以加工悬空...
常洪龙周平伟杨勇洪水金谢建兵袁广民
基于间断性腐蚀法的铂热敏传感器的研制被引量：2
2012年
针对铂湿法刻蚀工艺,提出了间断性腐蚀法,并与边腐蚀边搅拌法和静止法进行了对比,结果显示该方法腐蚀铂曲线光滑、效果好。之后,以普通硅片作为衬底材料,二氧化硅作为隔热层,采用上述微机电(MEMS)工艺加工制作了铂热敏传感器。经热敏性能测试,其电阻温度系数在20℃～80℃时为1571.2×10-6/℃;同一批次电阻阻值均匀性为0.35%;非线性度为0.57%;热时间常数为1.1μs;在0.5 h的稳定性测试中其变化幅值为0.005Ω,即精度为0.01%。该热敏传感器制作工艺简单,性能优异,可用于温度敏感、气体传感等热敏传感。
杨勇常洪龙谢中建周平伟
关键词：MEMS传感器电阻温度系数
基于新型合成射流微泵的射流转子陀螺
本实用新型公开了一种基于新型合成射流微泵的射流转子陀螺，属于惯性测量领域。该射流转子陀螺，的检测腔分别通过相应的喷口与相应的振动腔连通；所述各喷口径向错开；喷口由一主通道和在主通道两侧增加的支通道组成，所述支通道宽度比主...
常洪龙杨勇周平伟陈方璐宋蒙谢建兵袁广民
文献传递
Notching效应在MEMS风速仪制造工艺中的应用被引量：1
2013年
深反应离子刻蚀(DRIE)工艺在目前的硅微机械高深宽比结构加工中应用十分广泛。在SOI硅片DRIE刻蚀过程中,存在着一些被认为对刻蚀速率和结构轮廓不利的效应,如横向刻蚀(Notching)效应。通过在结构旁布置牺牲结构-硅岛,利用Notching效应加工出以悬空硅作为敏感单元的风速仪,其响应时间常数和电阻温度系数TCR(Temperature Coefficient of Resistant)分别为1.08μs和4 738×10-6/℃。正如所描述的,对于特定的微机械应用,Notching效应可以转变为一种加工优势,提高了微加工过程中的变化性。
常洪龙周平伟谢建兵杨勇谢中建袁广民
关键词：深反应离子刻蚀
基于扩张-收缩管微泵的射流转子陀螺
本实用新型涉及一种基于扩张-收缩管微泵的射流转子陀螺，属于惯性测量领域。该射流转子陀螺的检测腔分别通过相应的出气口与相应的振动腔连通；所述各出气口径向错开；出气口为锥形通道，其小端与所述检测腔连接，大端与振动腔连接；同时...
常洪龙周平伟杨勇郝永存洪水金谢建兵袁广民
文献传递
基于新型合成射流微泵的射流转子陀螺
本发明公开了一种基于新型合成射流微泵的射流转子陀螺，属于惯性测量领域。该射流转子陀螺，的检测腔分别通过相应的喷口与相应的振动腔连通；所述各喷口径向错开；喷口由一主通道和在主通道两侧增加的支通道组成，所述支通道宽度比主通道...
常洪龙杨勇周平伟陈方璐宋蒙谢建兵袁广民
文献传递
基于扩张-收缩管微泵的射流转子陀螺
本发明涉及一种基于扩张-收缩管微泵的射流转子陀螺，属于惯性测量领域。该射流转子陀螺的检测腔分别通过相应的出气口与相应的振动腔连通；所述各出气口径向错开；出气口为锥形通道，其小端与所述检测腔连接，大端与振动腔连接；同时，振...
常洪龙周平伟杨勇郝永存洪水金谢建兵袁广民
文献传递
一种基于MEMS的金属薄膜应变计加工方法
本发明公开了一种金属薄膜应变计的MEMS加工方法。该方法采用多次聚酰亚胺旋涂和处理，分别形成应变计的基底、覆盖层，通过金属剥离和湿法腐蚀等分别形成应变计的敏感栅部分和锚点部分，并通过酒精浸泡实现应变计的自释放。与现有技术...
谢建兵周平伟杨勇郭勇君洪水金袁广民
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一种悬空硅热敏电阻加工方法
本发明公开了一种悬空硅热敏电阻加工方法，属于微机电系统技术领域。该方法先刻蚀背腔，再完成悬空热敏电阻和其金属导线的制作。与现有技术相比，本发明：1.采用硅作为热敏材料，提高热敏电阻的电阻温度系数。2.经本方法可以加工悬空...
常洪龙周平伟杨勇洪水金谢建兵袁广民
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