徐峰林
- 作品数:9 被引量:9H指数:2
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金:国防科技技术预先研究基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:机械工程交通运输工程电子电信金属学及工艺更多>>
- 一种用于真空紫外光学仪器的超高真空狭缝
- 本实用新型涉及一种对常规光学狭缝及其它真空狭缝的改进。采用弹性结构解决了运动件由于接触产生的分子过镀和摩擦力大的缺陷,提高了运动精度和灵活性。弹性结构、导向调节套、挡帽、载体拨柱、滑套片采用合适的材料解决了材料放气的问题...
- 徐峰林唐玉国
- 文献传递
- 光刻机
- 徐峰林冯晓国孙连春
- 同心扫描法制作凹球面等距网栅的误差分析被引量:2
- 2006年
- 纬线与纬线相交可形成球面等距网栅,而采用“同心扫描”的运动方式可在凹球面上生成纬线。“同心扫描”要求直写物镜光轴、直写物镜水平转轴、工件回转轴和工件分度轴四轴交于工件凹面球心。采用两两相交误差几何分析的方法,得到了同心误差与离焦量和栅距误差的变化关系:随着同心误差增加,系统离焦量和栅距误差也增加,且二者的变化趋势基本一致。因为网栅线宽一般要求达到微米量级,与之匹配的栅距则往往为几百微米,所以栅距误差与栅距相比可以忽略,系统离焦量对网栅线宽的影响却必须认真考虑。采用几何光学基本公式对物镜系统的进一步分析表明,为了制作细且均匀的网栅线条,必须采用小光斑,而小光斑对应的焦深也小,从而要求离焦量小,对同心误差要求严格;反之,则可放宽对同心误差的要求。
- 冯晓国卢俊徐峰林孙连春
- 关键词:滤波器电磁屏蔽光刻球面
- 用于汽车制动器耐久试验的多工位ABS仿真系统
- 本发明用于汽车制动器耐久性试验的多工位ABS仿真系统,包括被调节液压回路、隔离缸、数字高速开关、快速比例减压阀、液压站和控制器。液压站开始工作后,打开数字高速开关,液压站对快速比例减压阀提供压力液体,当快速比例减压阀的输...
- 吴清文徐峰林郝贤鹏胡君杨洪波王惠卿邹荣士刘兴德张波
- 文献传递
- 脉冲双路精密电铸仪
- 脉冲双路精密电铸仪用于对微型机械零部件和微型线路板的加工制造。;省略仰视图。
- 徐峰林
- 汽车制动器主缸的ABS疲劳性能测试的实现被引量:6
- 2007年
- 介绍一种可针对多种液压真空助力及制动器主缸总成的ABS疲劳性能检测设备。
- 刘兴德王莉徐峰林杨洪波吴清文
- 关键词:ABS制动主缸试验台
- 用于微机械工艺的精密电铸设备被引量:1
- 1995年
- 本文介绍用于微型机械LIGA工艺的精密电铸设备。文内给出了精密电铸设备的技术参数、系统结构、软件流程及初步实验效果。此设备填补了国内微机械精密电铸设备的空白。
- 陈英俊徐峰林宣明
- 关键词:微型机械
- 用于汽车制动器耐久试验的ABS仿真系统
- 本实用新型用于汽车制动器耐久性试验的ABS仿真系统,包括被调节液压回路、隔离缸、数字高速开关、快速比例减压阀、液压站和控制器。被调节液压回路、隔离缸、数字高速开关、快速比例减压阀、液压站直接串联联接。数字高速开关、快速比...
- 吴清文徐峰林郝贤鹏胡君杨洪波王惠卿邹荣士刘兴德张波
- 文献传递
- 用于汽车制动器耐久试验的多工位ABS仿真系统
- 本发明用于汽车制动器耐久性试验的多工位ABS仿真系统,包括被调节液压回路、隔离缸、数字高速开关、快速比例减压阀、液压站和控制器。液压站开始工作后,打开数字高速开关,液压站对快速比例减压阀提供压力液体,当快速比例减压阀的输...
- 吴清文徐峰林郝贤鹏胡君杨洪波王惠卿邹荣士刘兴德张波
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