王佩红
- 作品数:57 被引量:174H指数:7
- 供职机构:安徽大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金安徽省自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:一般工业技术理学电气工程机械工程更多>>
- 动态椭偏光谱技术及其在薄膜测量中应用的研究
- 2005年
- 文章介绍了动态反射式椭圆偏振光谱技术的原理,采用椭圆偏振光谱技术测量得到P型Si(111)晶片,利用直流溅射制备的不同厚度Cu膜样品的椭偏光谱;利用特定的解谱程序并结合实验参数,对椭偏光谱进行解谱得到了样品的光学常数谱及其厚度;对于P型Si(111)晶片的光学常数谱,通过与Palik数据比较可以发现两者极为相似,只是在数值上存在差异;对于不同厚度的Cu膜样品,从晶粒尺寸、致密度和缺陷等方面分析了光学常数随厚度变化的原因;通过分析比较得知,经过拟合计算得到的P型Si(111)晶片和Cu膜样品的光学常数具有很高的准确性。
- 王佩红王磊蔡琪孙兆奇
- 关键词:光学常数CU膜
- MEMS永磁振动发电机的设计、制作和测试被引量:1
- 2011年
- 提出了一种基于微电子机械系统技术的微型永磁振动发电机。该发电机能够采集自然界中存在的机械振动能并转换成电能。它主要包括1个固定的双层铜线圈和1个由永磁体和硅基平面弹簧构成的拾振系统。采用体硅微加工和微电镀技术制作硅基平面弹簧和微线圈。组装成功的样机A和样机B的区别在于线圈的尺寸不同。样机B中线圈面积为样机A中线圈面积的28%。测试表明,样机A和B的固有频率分别为222 Hz和247 Hz。在加速度为1 g的振动激励下,样机A在共振状态下产生的最大感应电压和最大负载功率分别为51 mV和5.89μW。但是,在相同的振动激励下,样机B产生的最大感应电压和最大负载功率分别为62 mV和6.4μW,相对于样机A,分别提高了21.6%和8.7%。文中最后对线圈尺寸不同引起的输出性能不同给予了解释。
- 王佩红赵小林戴旭涵汪忠柱
- 关键词:微机电系统永磁微加工技术
- 一种接收换能器角度可变的声速测定仪及其使用方法
- 一种接收换能器角度可变的声速测定仪及其使用方法,它涉及一种测量最佳谐振频率和超声波声速实验装置,以解决现有最佳谐振频率和超声波声速实验测量方法测量结果误差较大的问题。包括有前固定杆和后固定杆固定连接的左支架和右支架,固定...
- 廖艳林赵艳王佩红谌正艮章文汪洪
- 电化学沉积法制备ZnO柔性纳米发电机被引量:4
- 2018年
- 本文利用电化学沉积法在PET-ITO柔性基底上成功制备出ZnO纳米发电机。采用X射线衍射仪,扫描电子显微镜和电化学工作站对ZnO纳米棒进行了生长观察和性能测试。XRD图谱显示,在不同沉积时间下ZnO纳米棒都具有(002)峰的择优取向。SEM表面形貌图显示,电沉积时间为2h时ZnO纳米棒呈现明显的六角纤锌矿结构。SEM断面图表明,电化学沉积2h的纳米棒最长为1.1μm。为了更好地观察不同沉积时间对纳米发电机的性能影响,在沉积时间为1,1.5,2h的条件下制备了3种纳米发电机。最终结果显示,电沉积时间2h制备的纳米发电机的电压输出性能最好,输出电压为960mV。最后,研究了电沉积法制作纳米发电机的工作机制。
- 张小舟王佩红刘星夏艳平龚泽洲
- 关键词:电化学沉积法
- 一种旋转式电磁-摩擦复合纳米发电机
- 本发明公开一种旋转式电磁‑摩擦复合纳米发电机,包括:摩擦纳米发电组件,电磁感应发电组件和磁动力组件。其中,摩擦纳米发电组件包括电极阵列和柔性叶片阵列;电磁感应发电组件包括发电永磁体阵列和线圈阵列;磁动力组件包括内外部驱动...
- 王佩红钟一鸣赵海波刘星张小舟廖艳林章文
- 文献传递
- 基于电镀铜平面弹簧的微型电磁式振动能量采集器被引量:8
- 2008年
- 采用微机电系统加工技术制作出一种结构新颖的微型电磁式振动能量采集器,它可以把周围环境中的振动能转换为电能。整个结构主要由圆形SmCo28永磁体、铜平面弹簧和双层线圈构成。采用UV-LIGA技术和电镀技术制作铜平面弹簧和双层线圈,并与永磁体一起组装成试验样机,其体积大约为200mm3。Ansys有限元仿真结果表明共振结构的一阶固有频率为129.3Hz。对组装好的电磁式振动能量采集器试验样机的初步测试表明:在加速度为3g(g=9.8m/s2)的外界输入冲击下,负载两端的交流电压峰峰值为32.5mV。
- 王佩红鲁李乐戴旭涵赵小林
- 关键词:微机电系统电磁式
- 基于双ZnO薄膜单元并联结构的微型压电振动能量采集器(英文)
- 2013年
- 报道了一种基于ZnO压电薄膜双单元结构的压电式微型振动能量采集器,其中的双压电元件是并联结构.采用射频磁控溅射技术制备ZnO压电薄膜,同时,该压电式振动能量采集器采用微加工技术制作.测试表明该器件的共振频率为1 300 Hz,基于ZnO薄膜双单元并联结构的压电式振动能量采集器比起具有同样尺寸的传统型压电振动能量采集器有更高的输出性能.在频率为1 300 Hz,加速度为10 m/s2的外界振动激励下,该压电式振动能量采集器在1 MΩ负载电阻上产生的电压为2.06 V;当负载电阻为0.6 MΩ时,输出功率最大为1.25μW.
- 王佩红杜和军
- 关键词:ZNO薄膜压电效应MEMS
- 一种摆动式摩擦纳米发电机
- 本发明公开一种摆动式摩擦纳米发电机,其组件包括:质量块、内圆筒、内圆筒盖板、轴承、拱形柔性薄膜阵列、中心轴、外圆筒、电极阵列、外圆筒盖板。本发明的发电部分为拱形柔性薄膜阵列和电极阵列构成的独立层式摩擦纳米发电机;其它部分...
- 王佩红芮品淑章文钟一鸣廖艳林
- 文献传递
- 有效介质理论在Ag-MgF_2复合纳米颗粒薄膜中的应用被引量:7
- 2003年
- 将描述弥散体系行为的Maxwell Garnett理论与Bruggeman理论应用于Ag MgF2 复合纳米颗粒薄膜 ,分别计算出该复合体系在 2 5 0nm~ 830nm波段范围内的光学常数n、k随波长λ的变化 ,并与实验结果进行比较。发现较之普遍采用的Maxwell Garnett理论 ,由Bruggeman理论计算出的n λ、k λ曲线的峰位、峰宽及峰位随Ag组分质量百分率的位移都与实验结果更为接近。
- 王佩红蔡琪王磊孙兆奇
- 关键词:有效介质理论光学性质电学性质
- Au-MgF_2复合纳米颗粒薄膜的制备和微结构被引量:5
- 2004年
- 用射频磁控共溅射法制备了Au体积分数分别为 6 %、1 5 %、2 5 %、4 0 %、5 0 %和 6 0 %的Au MgF2 复合纳米颗粒薄膜。用X射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱对薄膜的微结构和组分进行了测试分析 ,分析结果表明 :制备的Au MgF2 复合纳米颗粒薄膜由fcc Au晶态纳米微粒镶嵌于主要为非晶态的MgF2 陶瓷基体中构成 ,当Au体积百分含量由 1 5 %增至 6 0 %时 ,其平均晶粒尺寸由 5 1nm增大到 2 1 2nm ,晶格常数由 0 39984nm增大到 0 4 0 74 3nm ;随Au体积百分含量由 6 %增至5 0 % ,其颗粒平均粒径则由 9 8nm增至 2 1 4nm。名义组分为vol.6 0 %Au MgF2 样品中Au的体积百分含量约为 6 2 6 % ,与设计值基本一致。
- 蔡琪王磊王佩红宋学萍孙兆奇
- 关键词:微结构射频磁控溅射纳米材料