王益民
- 作品数：4 被引量：5H指数：1
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金湖北省自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信金属学及工艺生物学更多>>
- 一种激光平行分束器的设计被引量：3
- 2008年
- 为满足波面剪切干涉和双细光束干涉曲反射表面非接触精密测量、台阶高度测量以及其他平行分光需要,利用双折射晶体特性,研究并设计了一种单一平板激光平行分束器。当一束激光入射到双折射晶体时,它的2个相互正交的的偏振分量将有不同的折射特性,因此特定晶轴方向和厚度的晶体平行平板可以实现入射光束的平行分束。描述了双折射晶体平行平板的分束原理,推导了分束距离与光轴方向、晶体厚度、入射角的关系,分析了分束距离随主要设计参数的变化规律。采用设计的晶体激光分束器进行了实验测试,验证了分析与实测结果的一致性。
- 刘晓军宋浩王益民高咏生
- 关键词：双折射晶体特性分析
- 同步相移干涉表面精密测量被引量：1
- 2009年
- 基于激光波面干涉表面形貌测量原理,提出以偏振相移为基础的同步相移技术,研究具有抗振特性的精密表面激光波面干涉测量方案,以解决精密表面加工中的在线在机质量监测问题。介绍同步相移偏振干涉表面测量原理,分析其抗振抗环境干扰特性,构建测量系统实验装置,并完成测试实验。分析和测试实验结果验证了研究的同步相移激光波面干涉测量系统用于在线表面精密测量的良好适应性。
- 刘晓军王益民
- 关键词：激光干涉
- 一种实用纳米级位移测量校准器
- 2007年
- 提出基于新型共光路激光干涉原理的纳米级位移测量校准器,建立了其测量的数学模型,分析了其误差特性。由于采用相移干涉的相位分析技术实现波长小数测量,该测量校准器的精度好于0.5nm,量程达到几个mm;又由于共光路和紧凑的结构设计,因而具有良好的抗干扰特性,能够应用于一般实验环境。
- 宋浩刘晓军王益民
- 关键词：校准器
- 同步相移剪切干涉在线表面精密测量研究
- 随着微电子、微机电系统/(MEMS/)、光电子信息技术和航空航天技术等的快速发展,对表面质量,如光学元件表面、硅晶片表面、磁盘等高精密信息基体及其他精密装备零部件等表面质量要求正稳步提高,表面在线精密测量及质量控制问题变...
- 王益民
- 关键词：剪切干涉
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