董晓文
- 作品数：16 被引量：14H指数：2
- 供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程金属学及工艺更多>>
- 纳米级别图形的压印制造方法及其装置
- 一种纳米级别图形的压印制造方法，其特征在于利用吸盘吸附的方式提高了模版和待压印物的硬度，同时利用吸盘的预压使压印时压力分布均匀。在装卡模版和待压印物时，可利用光学传感器对模版和待压印物进行对准。应用本发明方法的装置包括保...
- 董晓文顾文琪司卫华
- 文献传递
- 精密光掩模的激光修整技术被引量：1
- 2006年
- 通过对掩模缺陷和激光特点的分析,提出用激光气化法修整掩模缺陷中多余铬缺陷的技术,对LMT型激光修版机进行了改进。给出了改造和更新的技术要点,在该机上进行了工艺实验,并对结果进行了分析,提出了改进激光修版技术的有关措施。实验表明:当物镜与待修模板之间的距离为1.604mm,激光泵浦灯管的预燃电压为300V时,可以达到最佳的修版效果。
- 司卫华董晓文顾文琪
- 关键词：光掩模激光修整
- 纳米级别图形的压印装置
- 一种纳米级别图形压印装置，其特征在于包括压力控制组件，运动保证可控组件，温度控制组件和吸附组件。压力控制组件位于安装在台架支撑板[6]上的压力导向圆筒[7]的中上部，运动保证控制组件通过花键导向圆筒[13]安装在压力导向...
- 董晓文顾文琪司卫华
- 文献传递
- 纳米压印光刻技术及其设备研制
- 介绍了热压印技术的工艺流程、设备研制等,从成本、生产能力等方面探讨了其作为标准生产技术所面临的挑战。介绍了使用具有100nm特征尺寸的5cm×5cm面积Cr模版在PMMA胶上的压印实验结果和试验装王。
- 董晓文司卫华顾文琪
- 关键词：纳米压印热压印模版
- 文献传递
- 纳米压印光刻技术及其设备研制
- 2005年
- 介绍了热压印技术的工艺流程、设备研制等,从成本、生产能力等方面探讨了其作为标准生产技术所面临的挑战.介绍了使用具有100nm特征尺寸的5cm×5cm面积Cr模版在PMMA胶上的压印实验结果和试验装置.
- 董晓文司卫华顾文琪
- 关键词：纳米压印热压印模版
- 气囊气缸式真空紫外纳米压印设备研制被引量：2
- 2008年
- 本文介绍了紫外纳米压印技术原理,以及工艺中模板与基片的平行度对压印质量的影响。研制了气囊气缸式真空紫外纳米压印设备,其通过气囊气缸使模板与基片平行,从而可在大面积基片上确保压力均匀。研制了相应的光学系统,着重讨论了如何实现紫外纳米压印以及光学系统的设计和调整。制备了石英玻璃模板,实现了在商用紫外固化聚合物OG154上的紫外纳米压印,转移复制了具有100nm特征的5cm×5cm面积的纳米结构图形。
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- 关键词：纳米压印紫外光学系统真空
- 纳米级别图形的压印制造方法及其装置
- 一种纳米级别图形的压印制造方法，其特征在于利用吸盘吸附的方式提高了模版和待压印物的硬度，同时利用吸盘的预压使压印时压力分布均匀。在装卡模版和待压印物时，可利用光学传感器对模版和待压印物进行对准。应用本发明方法的装置包括保...
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- 文献传递
- 应用传统紫外光刻机进行紫外压印被引量：1
- 2007年
- 基于紫外光固化的紫外纳米压印技术可在常温常压条件下实现纳米结构批量复制,具有高分辨率、高效率和低成本的优点。通过对紫外纳米压印原理和工艺的分析,制备了石英玻璃模板,实现了在商用紫外固化聚合物OG154上的紫外纳米压印,转移复制了具有100nm特征的5cm×5cm面积的纳米结构图形。同时,介绍了如何利用传统紫外光刻机的套刻对准系统进行紫外纳米压印和套刻对准的方法。
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- 关键词：纳米压印紫外
- 热压印中聚合物的研究被引量：3
- 2007年
- 在纳米压印技术中,热压印是普遍采用的压印方法。聚合物是压印的媒介,通过对聚合物加热、加压、冷却使聚合物成型,达到转印图形的目的。为了提高热压印技术和压印图形的精度,对聚合物受热后的特性以及聚合物的填充机理进行分析。通过实验得出,聚合物中的气体可以导致聚合物填充不完全,图形产生气泡,严重影响了图形的精度。聚合物的填充速度与模板的图案有关,平坦的模板比带有深孔的模板填充速度快。最后通过参数优化,得出高分辨率的压印图形。
- 司卫华董晓文顾文琪
- 关键词：热压印温度
- 纳米压印技术的工艺和图形精度研究被引量：2
- 2006年
- 纳米压印技术通过压印实现了纳米结构的图形转移,具有分辨率高、效率高、成本低的优点。通过对纳米压印过程中影响图形精度的一些因素进行分析,提出了相应的解决方法。结合研制的NIL-01型压印机进行工艺实验,给出纳米压印工艺实验的结果,并对结果进行了分析。试验表明:考虑到影响压印图形精度的各种因素,采用镀有Cr的SiO2模版和NIL-01型压印机,用热压印技术可以压印出具有100 nm特征尺寸的PMMA图形。
- 司卫华董晓文顾文琪
- 关键词：纳米压印模版
