邓元龙
- 作品数：59 被引量：138H指数：8
- 供职机构：深圳大学更多>>
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- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程文化科学电子电信更多>>
- 非偏振分光镜对外差干涉仪非线性误差的影响被引量：11
- 2012年
- 除了激光源、偏振分光镜(PBS)和波片等偏振器件之外,非偏振分光镜(NPBS)也是外差干涉仪中重要的非线性误差源。研究了多层介质膜NPBS的退偏效应和方位角对非线性误差的影响。采用p、s分量透射比、反射比、反射相移和透射相移共同表征NPBS的退偏效应,并逐项分析了其非线性误差模型。如果入射光束为理想线偏振光,则只有NPBS的反射相移和透射相移影响测量精度。如果入射光束存在偏振椭圆化和非正交,则NPBS的方位角、透射比和反射比、相移等参数的变化都会引入非线性误差,误差曲线的斜率受椭圆率和非正交角的影响。因此选用不同的激光源,同一个NPBS产生的非线性误差大小不同,一般可达几个纳米量级。为了实现纳米/亚纳米级精度的外差干涉测量,选择性能稳定的NPBS,特别是NPBS退偏效应与激光源输出偏振态之间的匹配非常重要。
- 邓元龙李学金耿优福洪学明
- 关键词：外差干涉仪
- 一种大型零件的测量方法及系统
- 本发明公开了一种大型零件的测量方法及系统，通过确定相机阵列中每台相机的像素坐标系与世界坐标系的转换关系，再针对所述相机阵列中的每一台相机，获取该台相机对应的零件图像，根据所述零件图像，确定该相机对应的第一图像，然后根据所...
- 钟小品何锐远邓元龙
- 文献传递
- 基于F-P干涉的强度型光纤压力传感器被引量：3
- 2011年
- 研究基于强度解调技术的Fabry-Perot干涉型光纤微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)压力传感器.该传感器采用MEMS各向异性腐蚀工艺加工的方形硅杯,其硅杯结构尺寸和表面光洁度比圆形压力敏感膜一致性好.传感器采用大面积比的方法,降低硅敏感膜片弯曲变形所引起的非线性测量误差,新增参考光路以补偿光源功率波动对测量的影响.在0～38kPa压力范围内实现了单值测量,相对灵敏度达到0.7%/kPa.实验与理论分析结果一致,具有很好的测量重复性.提出的多波长和多传感融合的测量方法,可用于扩大测量范围,提高灵敏度.
- 邓元龙赵小丽李学金耿优福洪学明邱成军
- 关键词：传感器技术光纤光学微机电系统强度调制
- 非偏振分光镜对干涉式椭偏仪测量精度的影响被引量：3
- 2012年
- 提出了一种新型激光外差干涉椭偏测量术用于实现纳米级精度的薄膜厚度测量。采用偏振光p和s分量透射比、反射比、反射相移、透射相移共同表征非偏振分光镜(NPBS)的退偏效应,建立了相应的误差模型,从而研究了多层介质膜NPBS的退偏效应和方位角对椭偏参数误差的影响。研究结果表明,由环境温度、入射角和光束偏振态的变化引起的NPBS退偏参数的漂移对椭偏测量精度影响很大,且无法通过标定来降低。为实现纳米级测量精度,NPBS的对准误差需要控制在0.1°以内。相对而言,用于合光的NPBS方位角误差对测量精度影响较大,NPBS所导致的膜厚测量总误差约为1.8～2.5nm,说明NPBS是马赫曾德尔干涉式椭偏仪的一个不可忽视的误差源。
- 邓元龙李学金耿优福洪学明
- 关键词：椭偏测量
- 大功率激光光纤透镜耦合系统设计被引量：5
- 2005年
- 在不考虑像差的情况下,采用傍轴光线传输ABCD定律,结合混合模系数M(或M2)的定义,研究了大功率LD尾纤输出的混合模类高斯光束经透镜之后束腰及束腰位置和发散角的变化,并在此基础上,利用MATLAB软件中的优化设计工具,提出一种设计大功率激光光纤准直———聚焦双透镜耦合系统的简单方法,最后给出了一个光子晶体光纤激光器透镜耦合系统设计实例.
- 邓元龙姚建铨阮双琛孙秀泉
- 关键词：系统设计光子晶体光纤激光器ABCD定律大功率激光高斯光束发散角
- 院标（深圳大学机电与控制工程学院）
- 1．本外观设计产品的名称：院标（深圳大学机电与控制工程学院）。;2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于学院标志的立体展示。;3．本外观设计产品的设计要点：产品的外观形状。;4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片...
- 罗和喜伍晓宇邓元龙
- 一种新型椭偏测量实验——塞曼激光外差椭偏仪
- 2005年
- 分析了大学物理实验中传统的消光式椭偏仪实验存在的问题,提出以一种新型外差式椭偏测量系统取代.结合塞曼激光外差干涉和反射式椭偏测量原理,给出了光学结构设计.系统中没有任何运动部件,也无需手动操作,实验过程自动化程度高,测量速度快.
- 邓元龙孙秀泉吴玉斌
- 关键词：物理实验椭偏仪外差干涉激光外差干涉大学物理实验
- 外差椭偏纳米薄膜测量技术被引量：1
- 1998年
- 提出一种可同时测量膜厚和折射率的新型快速高灵敏度薄膜测量方法——外差椭偏纳米薄膜测量技术，并给出了理论分析与设计、实验结果和误差分析．采用弱磁场塞曼激光器（输出４０ｋＨｚ的拍频信号），用相位直接比较法得到０．１８°分辨率，是迄今结构最简单的新型椭偏仪设计．测量过程高速全自动化，适合于现场连续测量．理论上可达到较高的测量精度．
- 邓元龙吴玉斌陈可简朱勤徐毅
- 关键词：椭偏仪
- 高等工程教育的实验教学改革被引量：15
- 2005年
- 面向实际的工程训练和创新教育是高等工程教育的核心内容,同时创新能力的培养离不开实践环节。分析了目前高等工程教育实验教学环节所面临的问题,指出面向实际的工程训练不足和如何在实验课程中培养学生的创新思维与能力是高等工程教育改革必须解决的首要问题。以独立开设的设计型、综合型电子技术实验课为例,在实验内容、教学方法、考核体系及开放式实验室建设等方面进行了改革与探索。
- 邓元龙费跃农阮双琛吴玉斌
- 关键词：高等工程教育实验教学教学改革创新教育电子技术开放式实验室建设
- 一种大型零件的测量方法及系统
- 本发明公开了一种大型零件的测量方法及系统，通过确定相机阵列中每台相机的像素坐标系与世界坐标系的转换关系，再针对所述相机阵列中的每一台相机，获取该台相机对应的零件图像，根据所述零件图像，确定该相机对应的第一图像，然后根据所...
- 钟小品何锐远邓元龙
- 文献传递
