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马世平
作品数:
2
被引量:7
H指数:1
供职机构:
北京交通大学机械与电子控制工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
动力工程及工程热物理
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合作作者
贾力
北京交通大学机械与电子控制工程...
陈淑玲
北京交通大学机械与电子控制工程...
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年份
2篇
2005
共
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工艺有害气体CF4高温分解实验研究
本研究在实验室规模上采用高温分解方法,针对电子工艺中使用较多的全氟烃气体中最难分解的CF1气体进行了实验研究.通过改变反应温度,H20浓度、CF4浓度等重要参数,探索了CF4的分解规律。
罗宁
贾力
陈淑玲
马世平
关键词:
全氟化合物
高温分解
蓄热式热交换器
陶瓷蓄热式换热器高温空气燃烧的实验研究
被引量:7
2005年
采用蓄热式换热器高温空气燃烧技术 ,建立了工艺有害气体高温分解系统 ;对以高温空气燃烧技术为理论依据的蓄热式换热器高温燃烧分解系统进行了实验研究 ;分析了其运行特征 ;探讨了蓄热周期对烟气与空气进出口温度变化特性、污染物排放浓度等参数的影响 ;提出了最佳换向周期 ,并指出短周期可以有效降低NOx 的排放体积分数。
马世平
贾力
关键词:
高温空气燃烧技术
低NOX
蓄热式
高温分解
高温燃烧
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