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周春宇
周春宇
作品数:
76
被引量:7
H指数:2
供职机构:
西安电子科技大学
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合作作者
张鹤鸣
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
胡辉勇
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
宋建军
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
宣荣喜
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
郝跃
西安电子科技大学
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作者
76篇
周春宇
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胡辉勇
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一种应变SiGe垂直CMOS集成器件及制备方法
本发明公开了一种应变SiGe垂直CMOS集成器件及制备方法,在600~780℃,在衬底NMOS和PMOS有源区上分别连续生长N型Si外延层、N型应变SiGe层、P型应变SiGe层、N型应变SiGe层、N型Si层和N型Si...
宋建军
胡辉勇
王斌
张鹤鸣
宣荣喜
舒斌
周春宇
郝跃
多晶Si<Sub>1-x</Sub>Ge<Sub>x</Sub>/金属并列覆盖双栅SSGOI nMOSFET器件结构
本发明公开了一种多晶Si<Sub>1-x</Sub>Ge<Sub>x</Sub>/金属并列覆盖双栅台阶式埋氧SSGOI nMOSFET器件结构,其技术方案在于该器件自上而下的结构为:多晶Si<Sub>1-x</Sub>G...
宋建军
王冠宇
张鹤鸣
胡辉勇
宣荣喜
周春宇
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一种基于自对准工艺的混合晶面双多晶应变BiCMOS集成器件及制备方法
本发明公开了一种基于自对准工艺的混合晶面双多晶应变BiCMOS集成器件及制备方法,其过程为:在SOI衬底上生长N型Si外延层作为双极器件集电区,制备深槽隔离,然后依次制备基极多晶、基区、发射区,形成SiGe HBT器件;...
胡辉勇
张鹤鸣
周春宇
宋建军
李妤晨
宣荣喜
舒斌
郝跃
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一种三多晶混合晶面应变BiCMOS集成器件及制备方法
本发明公开了一种三多晶混合晶面应变BiCMOS集成器件及制备方法,包括:在制备双晶面的SOI衬底与深槽隔离之后,在双极器件区域刻蚀深槽,在双极器件有源区连续生长制备SiGe HBT器件的集电区、基区和发射区,并形成多晶S...
张鹤鸣
宋建军
李妤晨
胡辉勇
周春宇
宣荣喜
戴显英
郝跃
文献传递
一种混合晶面双多晶BiCMOS集成器件及制备方法
本发明公开了一种混合晶面双多晶BiCMOS集成器件及制备方法,包括:在制备双晶面的SOI衬底与深槽隔离之后,在双极器件区域刻蚀深槽,在该槽中连续生长制备器件的集电区、基区和发射区,多晶硅基极和发射极,形成SiGe HBT...
张鹤鸣
吕懿
周春宇
宣荣喜
胡辉勇
舒斌
宋建军
郝跃
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应变Si NMOSFET阈值电压集约物理模型
被引量:2
2013年
本文采用渐变沟道近似和准二维分析的方法,通过求解泊松方程,建立了应变Si NMOSFET阈值电压集约物理模型.模型同时研究了短沟道,窄沟道,非均匀掺杂,漏致势垒降低等物理效应对阈值电压的影响.采用参数提取软件提取了阈值电压相关参数,通过将模型的计算结果和实验结果进行对比分析,验证了本文提出的模型的正确性.该模型为应变Si超大规模集成电路的分析和设计提供了重要的参考.
周春宇
张鹤鸣
胡辉勇
庄奕琪
舒斌
王斌
王冠宇
关键词:
应变SI
NMOSFET
阈值电压
一种混合晶面三应变BiCMOS集成器件及制备方法
本发明公开了一种混合晶面三应变BiCMOS集成器件及制备方法,包括:在制备SOI衬底,在该衬底上刻蚀双极器件有源区,在该区域连续生长N-Si、P-SiGe、N-Si层,制备深槽隔离,制备集电区、基区和发射区,形成集电极、...
张鹤鸣
宋建军
王海栋
周春宇
胡辉勇
宣荣喜
舒斌
郝跃
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一种SiGe HBT双应变平面BiCMOS集成器件及制备方法
本发明公开了一种SiGe HBT双应变平面BiCMOS集成器件及制备方法,其过程为:在衬底片上制备埋层,生长N-Si作为双极器件集电区,光刻基区,在基区区域生长P-SiGe、i-Si、i-Poly-Si,制备深槽隔离,形...
胡辉勇
宋建军
宣荣喜
吕懿
张鹤鸣
周春宇
舒斌
郝跃
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一种SiGe基垂直沟道应变BiCMOS集成器件及制备方法
本发明公开了一种SiGe基垂直沟道应变BiCMOS集成器件及制备方法,其过程为:在Si衬底片上的双极器件区域制造SiGe?HBT器件;光刻NMOS器件有源区,在该区域外延生长五层材料形成NMOS器件有源区,制备NMOS器...
宋建军
张鹤鸣
王海栋
周春宇
胡辉勇
宣荣喜
戴显英
郝跃
文献传递
一种应变SiGe BiCMOS集成器件及制备方法
本发明公开了一种应变SiGe BiCMOS集成器件及制备方法,其过程为:在SOI衬底片上制备埋层,生长N型Si外延,制备深槽隔离,在双极器件区域制造常规的Si双极晶体管;在600~800℃,在衬底上生长应变SiGe材料,...
张鹤鸣
周春宇
宋建军
胡辉勇
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