奚琳
- 作品数:10 被引量:51H指数:3
- 供职机构:合肥工业大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:机械工程电子电信一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 新型纳米三坐标测量机二维定位平台研究
- 本文研究的二维定位平台为一种新型纳米三坐标测量机的重要部件.针对慢速驱动无爬行和纳米级定位精度的设计要求研究了性能优异的磁浮一滑动复合导轨;引入了具有近零阿贝误差特性的'共平面'导向模式;并在结构设计时进行了二维定位平台...
- 奚琳
- 关键词:纳米三坐标测量机
- 文献传递
- 基于VB的纳米级驱动控制系统研究
- 压电陶瓷拨爪电机具有大行程、高速、位移分辨率高等突出优点,可以避免使用传统的二级驱动,直接实现纳米级驱动定位.利用PCI-7484数据采集卡和FAGOR自反馈光栅数显卡提供的DLL动态连接库函数及VB中的Timer控件,...
- 范伟余晓芬奚琳
- 关键词:可编程控制
- 文献传递
- 压电陶瓷驱动系统及控制方法研究被引量:36
- 2007年
- 给出了一种压电陶瓷驱动系统的控制方法,利用VB中的Timer控件和压电陶瓷电源的DLL动态连接库函数,实现了控制电压的实时可编程输出。针对压电陶瓷驱动器的非线性和迟滞特性,应用MATLAB分别拟合出压电陶瓷驱动器在往返行程中电压与位移值的多项式拟合曲线,得到了电压与位移的关系式,为进一步修正和减少非线性及迟滞误差的影响、提高系统的定位精度,提供了分析的依据。
- 范伟余晓芬奚琳
- 关键词:压电陶瓷驱动器控制方法非线性
- 基于VB的纳米级驱动控制系统研究被引量:2
- 2006年
- 压电陶瓷拨爪电机具有大行程、高速、位移分辨率高等突出优点,可以避免使用传统的二级驱动,直接实现纳米级驱动定位.利用PCI-7484数据采集卡和FAGOR自反馈光栅数显卡提供的DLL动态连接库函数及VB中的Timer控件,实现了对压电陶瓷拨爪电机的实时可编程控制以及位移信号的获取,成功地构建了纳米级驱动控制系统.经测试,该系统的位移分辨率可达10 nm.
- 范伟余晓芬奚琳
- 关键词:计量学
- 高精度低摩擦磁浮-滑动复合导轨
- 高精度低摩擦磁浮-滑动复合导轨,其特征是在移动件底部端面与导轨支承面间,同性相对地安装底部永久磁铁副,以其形成斥力保持移动件底部端面与导轨支承面之间处于非接触状态,并在移动件与导轨的顶部导向面之间形成正压力;以移动件与导...
- 余晓芬奚琳黄斌
- 文献传递
- 纳米电机驱动大行程超精密工作台的设计研究被引量:8
- 2008年
- 介绍了一种由压电陶瓷拨爪电机驱动的一维纳米级定位精度工作台的工作原理及其设计。压电陶瓷拨爪电机可以避免使用传统的粗精两级定位机构,直接实现纳米级驱动定位。针对压电陶瓷拨爪电机的特性,设计了低摩擦的磁悬浮导轨,并采用分体式结构和柔性铰链,将驱动系统与定位工作台隔离,从而有效减少了压电陶瓷拨爪电机在驱动时产生的高频震动对定位精度的影响。固定在工作台上的直光栅实现了对工作台位移的高精度闭环检测。经测试,工作台可以实现0-200mm范围,10nm分辨率的快速、高精度定位,满足纳米测量的要求。
- 范伟余晓芬奚琳
- 关键词:柔性铰链光栅
- 高精度低摩擦磁浮-滑动复合导轨
- 高精度低摩擦磁浮-滑动复合导轨,其特征是在移动件底部端面与导轨支承面间,同性相对地安装底部永久磁铁副,以其形成斥力保持移动件底部端面与导轨支承面之间处于非接触状态,并在移动件与导轨的顶部导向面之间形成正压力;以移动件与导...
- 余晓芬奚琳黄斌
- 文献传递
- 大行程高精度二维工作台
- 大行程高精度二维工作台,其特征是采用复合式磁浮-滑动导轨,设置二维移动工作台的顶部导向面与测量光栅的测量面相重合的结构形式,设置驱动区和工作区二级隔离。本实用新型能同时适应高低速运动、适应高加速度、减小阿贝误差的影响以及...
- 余晓芬奚琳黄斌
- 文献传递
- 新型Nano-CMM二维定位平台研究被引量:5
- 2006年
- 介绍了一种新型纳米三坐标测量机二维定位平台的结构设计:平台设计了无爬行的磁浮-滑动复合导轨;引入了“共平面“的导向模式,实现近零阿贝误差;并对二维定位平台力平衡和系统热效应作了优化设计。计算和实验结果表明,平台能有效解决低速驱动时的爬行问题,实现微小步距进给,满足微纳米级定位平台的要求。
- 奚琳余晓芬范伟
- 关键词:阿贝误差