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宋启森

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：青海大学更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇碳化硅
  • 1篇碳化硅粉
  • 1篇碳化硅粉末
  • 1篇硅粉
  • 1篇粉末
  • 1篇高纯
  • 1篇高纯超细
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体制造
  • 1篇超细

机构

  • 1篇青海大学

作者

  • 1篇王宁峰
  • 1篇赵乐
  • 1篇吕勇
  • 1篇李星
  • 1篇李健保
  • 1篇陈列
  • 1篇莫鹏君
  • 1篇张志刚
  • 1篇宋启森
  • 1篇董超
  • 1篇李宪国
  • 1篇薛伟
  • 1篇铁生年
  • 1篇李昀珺
  • 1篇张芬娟
  • 1篇岛井骏藏

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
半导体制造用高纯超细碳化硅粉末关键技术研究
铁生年岛井骏藏李健保李宪国王宁峰张芬娟宋启森薛伟李昀珺李星陈列张志刚莫鹏君吕勇董超赵乐
在半导体相关产业，使用各种特性的SiC产品，除SiC基板外，其他产品对陶瓷用原料的SiC粒子或粉末要求有各自不同的特性。该项目充分利用青海省的碳化硅的资源，青海大学和青海省方盛磨料磨具有限公司联合研制半导体制造级耐高温、...
关键词：
关键词：半导体超细碳化硅高纯粉末
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