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徐景俊

作品数：2 被引量：6H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学航天学院航天电子与光电工程系更多>>
相关领域：电子电信机械工程金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇微机械
  • 1篇微机械加工
  • 1篇温度
  • 1篇各向异性腐蚀
  • 1篇红外
  • 1篇硅
  • 1篇表面层

机构

  • 2篇哈尔滨工业大...
  • 1篇清华大学

作者

  • 2篇徐景俊
  • 1篇陈伟平
  • 1篇杨振丽
  • 1篇闫牧夫
  • 1篇王铀

传媒

  • 1篇哈尔滨工业大...

年份

  • 1篇1997
  • 1篇1991
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
摩擦磨损表面层温度的红外热象分析
本文采用红外热象系统对具有不同显微组织的 GCr15钢试样在不同摩擦磨损规程下进行了实时记录测温,给出了摩擦磨损表面层的温度分布随时间、载荷的变化, 并对测温结果进行了分析．
王铀闫牧夫徐景俊杨振丽
文献传递
硅微机械加工的削角补偿技术被引量：6
1997年
通过分析硅的结晶学特性及实验考察硅各向异性腐蚀的择优腐蚀面和削角线，研究了尖角与方角的掩模补偿方案，提取了削角因子，并且给出了针对于特定腐蚀深度的最佳补偿图形及设计参数。研究结果表明该方法可对硅微机械加工中凸角腐蚀的削角部分进行全面补偿。
陈伟平王东红马国忠王贵华徐景俊
关键词：微机械加工硅各向异性腐蚀
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