王明亮
- 作品数:17 被引量:25H指数:2
- 供职机构:厦门大学更多>>
- 发文基金:福建省自然科学基金福建省科技计划重点项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术化学工程电子电信机械工程更多>>
- 用AZ4620制作微电镀模的工艺研究(英文)被引量:2
- 2004年
- 介绍了利用AZ4620光刻胶制作截面为5μm×5μm微电镀模的工艺流程,详细说明了工艺流程中影响实验结果的实验参数以及实验参数的优化方法,并用实验结果说明了应该避免的实验误区。最后根据优化后的参数制作出满足课题需要的实验结果。
- 王明亮郑剑铭孙道恒
- 关键词:光刻悬臂梁
- 一种一步氧化酯化法制甲基丙烯酸甲酯的催化剂及其制备方法和应用
- 本发明公开了一种一步氧化酯化法制甲基丙烯酸甲酯的催化剂及其制备方法和应用,所述催化剂以含富电子氧化物的材料为复合载体,以金属钯为活性组分,以稀土金属为助活性组分,以表面活性剂为助剂,其化学通式可表达为:X<Sub>a</...
- 陈秉辉许梦东郑进保宗子厚吴钊男王明亮
- 文献传递
- 光开关中静电驱动的微悬臂梁耦合分析被引量:11
- 2003年
- 采用顺序耦合法 ,对光开关中的、静电驱动的悬臂梁进行分析 ,得出了悬臂梁的动态响应特性 ,并指出了空气阻尼对器件性能的影响 。
- 马海阳王艳华王明亮孙道恒
- 关键词:悬臂梁微机械传感器静电驱动光开关
- 一种金基催化剂、其制备方法和应用
- 本发明提供一种金基催化剂、其制备方法及其在制备MDA反应中的应用,其特征在于,包括载体,以及负载于所述载体上的活性组分和助剂;所述载体为铝的氢氧化物;所述活性组分为金,含量为0.1‑10wt.%;所述助剂为铁,或铁和铁的...
- 陈秉辉王明亮郑进保吴钊男谢建榕张诺伟
- 悬臂式微机械隧道陀螺仪的换能机构
- 涉及一种采用悬臂式微机械隧道陀螺仪的换能机构。设有基座、悬臂梁、控制电极、驱动电极、检测电极和挡板;悬臂梁由前后不同截面的两段组成,宽截面的后段梁的一端接基座,驱动电极设于窄截面的前段梁的两侧;控制电极与检测电极设于后段...
- 孙道恒王明亮李文望刘益芳郑剑铭
- 文献传递
- 一种利用异丁烯和甲醇制备3-甲基-3-丁烯-1-醇的方法
- 本发明公开了一种利用异丁烯和甲醇制备3‑甲基‑3‑丁烯‑1‑醇的方法,其步骤主要为:先用氮气吹扫不锈钢高压反应容器,置换反应容器内的空气;将甲醇液体加入反应容器中,然后将异丁烯气体通入反应容器中,通入高压氮气增压,使异丁...
- 陈秉辉宗子厚郑进保张诺伟吴钊男王明亮
- 文献传递
- 微尖的两种制作工艺
- 2004年
- 描述各向异性腐蚀结合键合和各向异性腐蚀结合电镀来制作微尖的方法,利用这两种方法制作出了针尖直径小于25nm的金字塔形微尖,通过实验证明:这是两种有良好可控性和工艺要求不高的制作方法。微尖的成功制作为传感器微型化提供了一种很有潜力的新型检测方式,解决了检测的灵敏度问题。
- 王明亮王艳华郑剑铭孙道恒
- 关键词:各向异性电镀
- 微机械隧道陀螺仪中微弱信号的检测技术被引量:9
- 2004年
- 针对微机械隧道陀螺仪输出信号的特点,设计出陀螺仪隧道电流的检测及校准电路.同时从理论上对电路进行误差分析,并对电路的实际安装技术进行了讨论.最后通过实际电路验证了该设计的可行性.
- 郑剑铭王凌云王明亮孙道恒
- 关键词:微弱信号惯性传感器扫描隧道显微镜
- 一种一步氧化酯化法制甲基丙烯酸甲酯的催化剂及其制备方法和应用
- 本发明公开了一种一步氧化酯化法制甲基丙烯酸甲酯的催化剂及其制备方法和应用,所述催化剂以含富电子氧化物的材料为复合载体,以金属钯为活性组分,以稀土金属为助活性组分,以表面活性剂为助剂,其化学通式可表达为:X<Sub>a</...
- 陈秉辉许梦东郑进保宗子厚吴钊男王明亮
- 文献传递
- 金基催化剂下甲基丙烯醛一步氧化酯化制甲基丙烯酸甲酯
- 甲基丙烯酸甲酯(MMA)是一种高附加值的重要化工原料,由甲基丙烯醛(MAL)一步氧化酯化制备是新的绿色工艺之一。相较于研究较多的Pd基催化剂,Au基催化剂因其催化活性及选择性更高而备受关注。本文主要研发选择性氧化酯化MA...
- 王明亮
- 关键词:甲基丙烯醛氧化酯化甲基丙烯酸甲酯