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王继尧

作品数：30 被引量：0H指数：0
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 29篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 4篇自动化与计算...
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇机械工程
  • 1篇经济管理

主题

  • 13篇光刻
  • 13篇光刻机
  • 10篇气浮
  • 9篇微动台
  • 5篇导轨
  • 4篇运动控制
  • 4篇工作台
  • 4篇多自由度
  • 4篇负压
  • 4篇负压调节
  • 4篇磁力
  • 4篇磁悬浮
  • 3篇仪器
  • 3篇气浮轴承
  • 3篇轴承
  • 3篇微动
  • 3篇精密仪器
  • 2篇电路
  • 2篇电路板
  • 2篇调平

机构

  • 30篇哈尔滨工业大...

作者

  • 30篇王继尧
  • 29篇吴剑威
  • 29篇赵鹏越
  • 22篇谭久彬
  • 16篇郑健
  • 11篇刘江
  • 10篇王辉
  • 4篇赵博
  • 4篇刘欢

年份

  • 5篇2023
  • 20篇2022
  • 4篇2021
  • 1篇2000
共 30 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法
本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法，运动台包括基座、工作台和控制装置，工作台设置于基座的上方，工作台的下表面设置有多个凹槽，控制装置包括控制模块和安装在基座上的第一电机组、第二电机组...
赵鹏越王继尧吴剑威刘江李昌其王辉谭久彬
一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置
一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置，属于精密仪器以及精密测量技术领域，本发明为了解决现有技术中无法测量复眼单元在运动时的俯仰角和翻滚角误差，无法评估复眼单元工作时的运动精度与运动稳定性的问题，本发明提供的一种基...
吴剑威晏祯卓赵鹏越王继尧李一帆
一种真空环境下多自由度气浮精密运动台及其工作方法
一种真空环境下多自由度气浮精密运动台及其工作方法，属于精密运动控制技术领域。承载台设置在支撑导套正上方，承载台与支撑导套之间通过三个音圈电机连接，所述运动导轨设置在支撑导套内且二者通过直线驱动电机连接，所述运动导轨与支撑...
赵鹏越王继尧刘欢高席丰吴剑威
一种气膜调控及气体回收的气浮轴承结构
本发明提供一种气膜调控及气体回收的气浮轴承结构，属于气浮支撑技术领域。该结构改善了上述背景技术中提到的气体扰动的问题，提高了结构的精度及性能。气浮平台布置在大理石平台上方，节流器及气体回收单元均布置在气浮平台内部，节流器...
高席丰王继尧吴剑威刘欢赵鹏越
一种磁悬浮式光刻机掩模台
本发明涉及光刻机设备技术领域，公开了一种磁悬浮式光刻机掩模台，其包括基座、微动台、掩模版，基座上表面设有驱动机构和磁悬浮导轨，磁悬浮导轨为长条状，两条磁悬浮导轨互相平行，每条磁悬浮导轨朝向另一磁悬浮导轨一侧设有导轨凹槽；...
吴剑威李昌其赵鹏越郑健王继尧韦威威谭久彬
文献传递
一种适用于多尺寸静压气浮轴承的静态性能测试装置
一种适用于多尺寸静压气浮轴承的静态性能测试装置，属于精密仪器及机械技术领域，本发明为了解决现有静压气浮轴承静动态性能测试装置无法根据实际工况调整解耦球的角度，无法实现复杂工况下静压气浮轴承的静态性能测试，并且在对被测部件...
吴剑威郑健王继尧赵鹏越王辉
文献传递
一种精密运动气浮支撑装置
本发明涉及精密运动技术领域，公开了一种精密运动气浮支撑装置，其包括基座、导轨和支撑框架，导轨水平设置于基座上并与基座固定连接，支撑框架套设于导轨上并可沿导轨滑动，支撑框架包括底部气浮板、顶部气浮板和侧向气浮板，侧向气浮板...
吴剑威赵鹏越刘江王继尧郑健赵博谭久彬
哈尔滨市城市土地定级估价研究
该文在全面考查了中国各城市土地定级及基准地价评估的产生、发展和现状的基础上,系统地介绍了城市土地定级和基准地价评估的基础理论及其在中国城市土地定级估价中的具体应用.该文以哈尔滨市城市土地定级和基准地价评估工作为例,详细说...
王继尧
关键词：基准地价
文献传递
一种微动台气浮支撑装置
本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种微动台气浮支撑装置，包括基座、能够在基座上悬浮的气浮模块、以及位于气浮模块上的连接结构，气浮模块用于支撑连接结构，连接结构用于支撑微动台；气浮模块包括外部框架、调节框架及负压调节板...
吴剑威赵鹏越刘江郑健王继尧李昌其谭久彬
文献传递
一种基于气磁联合调平的微动台支撑装置
本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于气磁联合调平的微动台支撑装置，包括承重板、外部框架、负压调节框架、负压调节板、磁悬浮导轨、连接结构、基座及直线编码器；外部框架设于基座上，连接结构设于外部框架上，连接结构用于支撑微...
吴剑威刘江赵鹏越王继尧郑健王辉谭久彬
文献传递
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