田边
- 作品数：165 被引量：41H指数：4
- 供职机构：西安交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信金属学及工艺更多>>
- 基于压力传感器封装的波纹膜片的结构研究被引量：7
- 2008年
- 针对隔离型压力传感器封装的特点,介绍了波纹膜片的设计过程并利用有限元分析方法对影响波纹膜片性能的主要因素—膜片厚度和波纹深度进行了分析研究,对波纹膜片的结构进行优化,改善了封装有波纹膜片的压力传感器的线性度和灵敏度。
- 刘元浩赵立波赵玉龙蒋庄德田边孟超
- 关键词：有限元分析
- 一种三维力传感器三维力加载标定装置及方法
- 本发明公开了一种三维力传感器三维力加载标定装置及方法，在力加载杆穿过直线轴承，直线轴承被竖直固定在支架上，在力加载杆上放置砝码，力加载杆会向三维力传感器施加一个竖直方向的力，施加力的大小F为砝码与力加载杆的质量和，该力作...
- 王松王琛英张雨菁张雅馨罗运运刘兆钧林启敬田边赵一凡蒋庄德
- 文献传递
- 低侧向效应微压电加速度传感器芯片及其制作方法
- 本发明公开了一种低侧向效应微压电加速度传感器芯片及其制作方法，芯片由一对敏感梁与一对补充梁共同支撑悬空质量块并使其悬空，敏感梁上布置了压电薄膜，压电薄膜的上下表面都布置有上下电极，其中芯片的制作方法是通过干法刻蚀以及IC...
- 田边刘汉月杨宁
- 文献传递
- 用于航空发动机的光纤F-P温度传感器及其信号解调系统研究被引量：13
- 2019年
- 光纤F-P温度传感器具有结构稳定、精度高、体积小、抗电磁干扰、质量轻和成本低等优点,在航空发动机高温测量领域具有重要的潜在应用。针对航空发动机的高温工况,利用多光束干涉原理设计了光纤F-P传感器,并通过端面检测、显微测量等手段完成了光纤F-P温度传感器的制备。针对传统光谱仪解调系统昂贵,解调速度慢的不足,以F-P滤波器和DSP为核心设计了传感器的信号解调系统,克服了传统光谱仪解调的局限性;进行了解调系统的硬件设计,完成了光电转换放大电路的原理设计、仿真分析和电路制作,实现了解调系统的初步搭建。在高控温精度的高温炉中采用标准热电偶对制备完成的传感器进行标定,结果表明:在30~1 000℃温度范围内,传感器的温度响应灵敏度为0.012 nm/℃,线性度为0.996。
- 林启敬伍子荣赵娜田边田边
- 关键词：光纤传感器高温测量航空发动机信号解调
- 用于光纤F-P传感器制作的光纤对中和腔长控制装置及方法
- 本发明公开了一种用于光纤F‑P传感器制作的光纤对中和腔长控制装置及方法，通过光纤夹具对光纤进行夹紧，通过陶瓷管夹具对陶瓷管夹紧，通过测微尺调节两个光纤夹具的位置，通过光栅尺记录移动距离，使两个光纤与陶瓷管对中并粘接，完成...
- 林启敬伍子荣蒋庄德赵娜姚坤田边史鹏
- 文献传递
- 一种埋入式多参量光纤复合传感器及其制作方法
- 一种埋入式多参量光纤复合传感器及其制作方法，传感器包括激光刻写的光纤光栅，光纤光栅一端外周包裹于激光刻写的蓝宝石光纤构建端帽型FPI内，二者共同构成光纤探头埋于涡轮发动机叶片根部；首先，以光纤纤芯为对称轴，在轴线的两侧基...
- 赵娜林启敬蒋庄德朱良全姚坤田边
- 文献传递
- 基于惯性测量单元的呼吸深度与呼吸频率测量装置和方法
- 本发明公开了一种基于惯性测量单元的呼吸深度与呼吸频率测量装置和方法，包括用于提供相对参考系的外壳、作为胸部呼吸深度与呼吸频率测量装置的内壳以及第一、第二惯性测量单元。首先通过内外壳以及弹簧连接，为胸部的运动提供了相对参考...
- 方续东邓武彬方子艳吴俊侠高博楠孙昊吴晨赵立波田边王淞立朱楠蒋庄德
- 文献传递
- 一种基于静电激励电容检测的差分式硅谐振压力传感器
- 本发明公开了一种基于静电激励电容检测的差分式硅谐振压力传感器，属于微纳传感器技术领域，包括基底层、受拉谐振器和受压谐振器，所述基底层包括压力敏感膜与固定在压力敏感膜上的硅岛；所述受拉谐振器布置在压力敏感膜的受拉区域，所述...
- 方续东赵永超吕秩光卓文强方子艳孙昊张栋吴晨田边赵立波蒋庄德
- 一种金属-氧化物型薄膜热电偶及其制备方法
- 本发明公开了一种金属‑氧化物型薄膜热电偶及其制备方法，包括基底以及位于基底上的钨铼26薄膜区及氧化铟薄膜区，其中，钨铼26薄膜区与氧化铟薄膜区相接触，该热电偶具有耐高温及高热电输出能力的特点，且制备方法简单。
- 田边刘延张仲恺刘兆钧刘江江汪存峰史鹏林启敬蒋壮德
- 文献传递
- 高温薄膜热电偶典型制备工艺研究现状分析被引量：1
- 2022年
- 随着航空航天飞行器性能的不断提升,对温度传感器的要求不断提高,不断趋向于更高温度、更快响应、更小体积。薄膜热电偶因具有响应速度快、热接点小、便于集成等优点,非常适用于航空发动机涡轮叶片、燃烧室内壁、高温燃气进出口、高超声速飞行器表面等极端高温环境下的瞬态温度测量。对于薄膜热电偶来说,它的制备工艺显得尤为重要,因此分别从溅射工艺参数和热处理工艺参数两方面对薄膜热电偶的研究现状进行了汇总介绍和分析。
- 黄漫国李水敏张梅菊张梅菊张仲恺田边
- 关键词：温度测量薄膜热电偶
