于海波
- 作品数：35 被引量：20H指数：3
- 供职机构：中国科学院沈阳自动化研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术机械工程更多>>
- 基于介电泳的微/纳米粒子并行操纵基础理论方法研
- 李文荣曲艳丽董再励李明林于海波费飞王淑娥刘连庆
- MEMS系统、纳米器件及传感器中，含有大量的微/纳尺度的物质，如纳米颗粒，纳米线等。而要实现对任意微/纳粒子的分离、操纵、输运、排列与装配是极其困难的。尚无可对大量粒子进行有效地并行操纵的方法。该项目针对纳米器件或传感器...
- 关键词：
- 面向AFM的纳米目标快速重定位方法
- 2014年
- 原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)具有极高的观测分辨率和作业精度,在纳米材料表征与纳米器件组装方面发挥了不可替代的作用.AFM工作区域的选取依赖于光学显微镜,受可见光波波长的限制,光学显微镜的分辨率一般不超过200 nm,这导致光学显微镜无法有效辨识AFM观测目标样本所在的区域.当样本被移动或者更换AFM扫描探针引起样本与探针针尖的相对位置发生变化时,如何重新将AFM探针精确定位到原观测/操作区域具有非常大的挑战性.本文研究提出了一种新的免标记探针重定位方法,综合考虑了样本角度旋转与位置偏移两个因素,首先利用光学显微镜选取样本基底上易于识别的自然特征作为参照点,基于坐标变换原理实现微米级精度的探针盲定位,进而通过AFM扫描图像的匹配获得X-Y水平方向的位置偏差,通过修改AFM的扫描参数实现纳米目标的原位快速精确重定位.该方法的优点在于不需要在纳米目标样本操作区域上制作特殊的标记,操作过程简单、定位快速、定位范围较广且具有极高的重定位精度.对纳米小球、单壁碳纳米管(single-walled carbon nanotubes,SWCNTs)、纳米划痕等样本的重定位实验验证了该方法的实用性和高效性.
- 周培林于海波赵增旭焦念东刘连庆
- 关键词：AFM重定位
- 一种柔性微电极的制造方法
- 本发明公开了一种柔性微电极的制造方法，属于柔性器件制造技术领域。该方法首先使用基于光诱导电化学方法沉积制造微电极，再将电极转移至PDMS柔性基底。本发明利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的粘附力，通过恒温加热，将使用光诱导电...
- 刘连庆于海波关涛刘娜李盼
- 文献传递
- 单壁碳纳米管与多壁碳纳米管分离方法
- 本发明公开一种基于离心原理的单壁碳纳米管(Single－walled Carbon Nanotubes，SWNTs)与多壁碳纳米管(Multi－walled Carbon Nanotubes，MWNTs)分离的方法，利用...
- 于海波李文荣董再励
- 文献传递
- 一种高高宽比液态金属图形的制作方法
- 本发明公开了一种高高宽比液态金属图形的制作方法，属于液态金属技术领域。首先，在转动接收基底上利用静电纺丝工艺原位直写纳米纤维，制作线性微脊结构；接着，以微脊结构作为模具，浇筑制作带有微沟槽的聚合物薄膜；然后，预拉伸带有微...
- 刘连庆于海波郭洪吉吕孝峰刘柱
- Study on Application of Centrifugation in Dispersion of Single-walled Carbon Nanotubes
- The density and volume between single-walled carbon nanotubes (SWNTs) and carbon nanotube bundles (CNBs) are d...
- 于海波李文荣田孝军董再励覃柯
- 关键词：DISPERSIONCENTRIFUGATION
- 面向微纳制造的DEP自动化装配技术研究
- 李文荣曲艳丽董再励李明林于海波刘连庆焦念东费飞
- 将DEP技术与微滴定技术相结合，研制出的微/纳米物质自动化装配系统原理样机由显微镜与CCD监视系统、高精度3D微操作器、微滴定子系统(柱塞泵和微滴定探针)、用于产生DEP力的交流信号发生器，以及载有微电极阵列的工作台组成...
- 关键词：
- 关键词：柱塞泵
- 一种碳纳米管-电极结构及基于该结构的温度传感器芯片
- 本实用新型公开一种碳纳米管-电极结构及基于该结构的温度传感器芯片，包括基底、碳纳米管、电极，所述电极成对设置在基底上，所述碳纳米管与所述的一对电极间电连接。碳纳米管具有良好的导热性，并且金属性碳纳米管的电阻率会随温度的变...
- 董再励于海波王越超田孝军曲艳丽李文荣
- 文献传递
- 机器人化微纳操作研究进展被引量：5
- 2013年
- 微纳操作技术是在微/纳米尺度上制造具有特定功能结构与器件的方法,该技术获得广泛的关注和研究.本文阐述了微纳操作的概念、意义,介绍微纳操作的相关技术,以基于原子力显微镜(AFM)的机器人化微纳操作技术为重点,回顾AFM微纳操作的发展历程,探讨AFM探针定位与操作等关键技术问题,并提出相应的解决方案,最后对当前微纳操作中关注的几个关键技术问题进行了展望.
- 袁帅王越超席宁于海波焦念东于鹏刘连庆
- 关键词：原子力显微镜虚拟夹具
- 碳纳米管场效应晶体管的自动化装配方法研究
- 自碳纳米管(Carbon nanotube,CNT)被发明以来,研究者就对CNT所表现出来的优异的物理、化学以及电学特性产生了浓厚的兴趣。近年来,CNT基纳米器件的研究取得了重要进展。特别是利用半导体性CNT制造的碳纳米...
- 于海波田孝军于鹏董再励
- 关键词：碳纳米管场效应晶体管
- 文献传递
