刘珍妮
- 作品数：3 被引量：26H指数：2
- 供职机构：北方工业大学机电工程学院更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 微压力传感器的设计与工艺研究
- MEMS器件中,硅微压力传感器是应用最为广泛的一种。随着科学技术的发展,对新一代传感器的要求也越来越高。 本文设计的压阻式微压力传感器量程为20Kpa，主要对传感器进行了结构设计,通过研究微加工工艺,制定了传感器的工艺流...
- 刘珍妮
- 关键词：微压力传感器压敏电阻微加工工艺模拟仿真
- 文献传递
- 硅压阻式传感器的优化分析被引量：8
- 2011年
- 硅压阻式微传感器的压力灵敏度除与硅膜片的厚度、大小、压敏电阻阻值大小有关外,还与电阻在硅膜片的分布方位及在硅膜片上的位置有关.本文讨论了压敏电阻构成的电桥电路其输出电压灵敏度与电阻所处位置和方向的关系,求出传感器的压力灵敏度极值及其条件,并讨论了电阻的纵向压阻系数和横向压阻系数与方向的关系,并求出其极值.
- 杨峻松谭晓兰刘珍妮张敏亮王峰
- 关键词：压力传感器晶向
- 一种硅微压阻式压力传感器的研究被引量：19
- 2012年
- 研究了一种量程为20kPa的压阻式微压力传感器,同时采用ANSYS仿真得出影响传感器性能的一些规律。应用小挠度理论设计计算了压阻式硅传感器方形弹性膜片结构,并对圆形膜片与方形膜片进行了比较,同时设计了硅芯片以及压敏电阻的尺寸和阻值。通过模型分析和对方型硅膜片的模拟计算,确定了压敏电阻最佳放置位置,来提高灵敏度;并在各个不同的压力下仿真出应力分布图、得出输入—输出关系图及应力峰值。研究为压阻式微压力传感器的结构以及优化、稳健设计提供了一定参考。
- 刘珍妮谭晓兰杨峻松
- 关键词：微压力传感器压敏电阻仿真
