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周鹏云
作品数:
17
被引量:2
H指数:1
供职机构:
西南化工研究设计院有限公司
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相关领域:
文化科学
理学
化学工程
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合作作者
陈雅丽
西南化工研究设计院
王少楠
西南化工研究设计院
张军
西南化工研究设计院
代高立
西南化工研究设计院
周泽义
中国计量科学研究院
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一种氦气纯化装置
本实用新型公开了一种氦气纯化装置,属于气体纯化装置领域,包括纯化系统和降温系统,所述纯化系统包括依次连通的从原料氦气中脱除H<Sub>2</Sub>O,CO<Sub>2</Sub>的粗氦干燥器、初步冷凝脱除氮氧的高压冷凝...
黄建彬
代高立
赵帅德
王少楠
张军
赖晓峰
周鹏云
陈雅丽
文献传递
电子级六氟乙烷的色谱分析
被引量:2
2015年
使用氦离子化色谱仪对电子级六氟乙烷进行分析,结果显示本实验方法很好的实现了电子级六氟乙烷杂质的色谱全分析,并且为建立电子级六氟乙烷标准提供实验基础。
郁光
庄鸿涛
周鹏云
方小青
徐娇
白占旗
方华
关键词:
气相色谱仪
TO-202型微量氧分析仪数据处理系统的设计
本文简要介绍了TO-202型微量氧分析仪数据处理系统的设计依据、色谱定量方法,数据误差处理及电路系统和程序设计.
周鹏云
廖立
冷奎
关键词:
数据处理
文献传递
氙气
本标准规定了氙气的要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于深冷法从空气中提取的气(液)态氙。主要用于电光源工业,也用于医疗、电真空、激光等领域。 氙是一种无色、无味、不活泼的气体。 分子式:Xe。 相对分...
熊贤信
周鹏云
路家兵
关键词:
氙
气体
文献传递
电子工业用气体.氢
本标准规定了电子工业用氢技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛,作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料...
周泽义
周鹏云
关键词:
电子工程
氢
气体
文献传递
一种压缩天然气成分的快速分析方法
本发明公开了一种采用双热导气相色谱仪,利用预分离和气路反吹的原理,运用色谱工作站的负峰和通道交换功能,采用一次进样,完成压缩天然气(CNG)中氦、氢、氧、氮、甲烷、乙烷、二氧化碳、丙烷、异丁烷、正丁烷、异戊烷、正戊烷、正...
王少楠
周鹏云
张军
陈雅丽
代高立
文献传递
电子工业用气体.氮
本标准规定了电子工业用气体氮技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮,以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压,化学气相淀积等。
周泽义
周鹏云
关键词:
电子工程
氮
气体
文献传递
电子工业用气体.氧
本标准规定了电子工业用氧的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧,以及经纯化方法得到的氧。他们主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子...
周泽义
周鹏云
关键词:
气体
氧
电子工程
文献传递
标准气体配气装置
<B>本发明公开了一种新型标准气体配制装置,整套装置中原料气瓶经过滤器过滤后与原料控制阀连接,原料控制阀与高压调节系统连接,高压调节系统与压力传感器一连接后再与低压调节系统连接,低压调节系统与压力传感器二连接后分别与产品...
张军
王少楠
代高立
周鹏云
陈雅丽
文献传递
电子工业用气体.氩
本标准规定了氩的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷却法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。氩用于系统的吹扫、保护和增压,它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性...
赵俊秀
周鹏云
关键词:
气体
氩
电子工程
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