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宋晨飞

作品数：23 被引量：0H指数：0
供职机构：西南交通大学更多>>
发文基金：国家杰出青年科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 21篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 4篇一般工业技术
  • 1篇电子电信

主题

  • 13篇纳米
  • 10篇单晶
  • 9篇选择性刻蚀
  • 9篇刻蚀
  • 8篇临界载荷
  • 7篇点接触
  • 7篇扫描探针显微...
  • 7篇探针
  • 7篇微纳米加工
  • 4篇单晶片
  • 4篇原子力显微镜
  • 4篇砷化镓
  • 4篇微球
  • 4篇晶片
  • 4篇冠状
  • 4篇硅片
  • 3篇悬臂
  • 3篇悬臂梁
  • 3篇砷化镓表面
  • 3篇石英

机构

  • 23篇西南交通大学

作者

  • 23篇宋晨飞
  • 22篇钱林茂
  • 21篇余丙军
  • 13篇周仲荣
  • 12篇郭剑
  • 8篇陈磊
  • 4篇余家欣
  • 4篇唐鹏
  • 2篇王晓东

传媒

  • 1篇金属加工（冷...

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 4篇2016
  • 2篇2015
  • 4篇2014
  • 4篇2013
  • 5篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 23 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于摩擦化学诱导刻蚀的单晶硅表面无损伤纳米加工方法
一种基于摩擦化学诱导刻蚀的单晶硅表面无损伤纳米加工方法，主要应用于单晶硅表面纳米结构的加工。其具体操作方法是：先用湿法氧化的方法在单晶硅表面生长SiO<Sub>x</Sub>薄层，然后将生长有SiO<Sub>x</Sub...
钱林茂郭剑陈磊余丙军宋晨飞
文献传递
单晶石英表面低损伤的摩擦诱导纳米加工研究
纳米科技与生物科技及信息科技并列为21世纪最具影响的三大领域，深刻地改变着人类社会进程。而纳米制造技术是实现纳米产品生产的先决条件，是纳米科技走向应用的关键和基础。随着器件微型化发展至纳米尺度，传统的纳米加工技术遇到了前...
宋晨飞
关键词：原子力显微镜
文献传递
一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法
一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法，主要应用于玻璃表面微纳米结构的加工。其具体操作方法是：将尖端为球状的探针安装在原子力显微镜上，将清洗过的玻璃固定在样品台上，启动原子力显微镜，给探针施加定载荷F或者变载荷...
钱林茂宋晨飞周仲荣余丙军陈磊郭剑
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一种砷化镓表面量子点形核位置的低损伤加工方法
本发明公开了一种砷化镓表面量子点形核位置的低损伤加工方法，其具体操作是：将尖端为球状的二氧化硅探针安装在扫描探针显微镜上，将清洗过的砷化镓固定在样品台上；启动扫描探针显微镜，给探针施加0.5‑1GPa的接触压力，并使探针...
钱林茂宋晨飞余丙军陈磊唐鹏
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一种多点接触模式下的大面积硅表面织构化加工方法
一种多点接触模式下的大面积硅表面织构化加工方法，它将硅(100)单晶片置于多微球的多点接触板垂直下方位置，再使硅片与多点接触板两者垂直相对运动至发生接触，并达到一定接触载荷F；使多点接触板和硅片按照既定轨迹相对运动，进行...
钱林茂吴治江余丙军郭剑宋晨飞周仲荣
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一种多点接触模式下的大面积摩擦诱导微米级加工设备
一种多点接触模式下的大面积摩擦诱导微米级加工设备，由基座、加工平台驱动装置、加载机构和数据采集及控制系统组成，其中：加工平台驱动装置由水平二维电控平移台、手动三维位移台和“L”型的样品台主成；加载机构的构成则是：基座上表...
钱林茂吴治江余丙军宋晨飞周仲荣
文献传递
一种石英、玻璃材料表面的微纳米加工方法
一种石英、玻璃材料表面的微纳米加工方法，其具体作法是：将尖端部为球冠状的探针安装在扫描探针显微镜上，将被加工的石英或玻璃材料固定在扫描探针显微镜的样品台上，启动扫描探针显微镜，给探针施加载荷F，该载荷F的值为根据赫兹接触...
钱林茂周仲荣宋晨飞余丙军余家欣
文献传递
一种基于摩擦诱导的单晶石英表面选择性刻蚀方法
一种基于摩擦诱导的单晶石英表面选择性刻蚀方法，其方法是：将尖端为球冠状的探针安装在原子力显微镜上，将单晶石英固定在样品台上，启动原子力显微镜，给探针施加定载荷F或者变载荷F′，F的值或F′的变化范围为石英表面发生屈服的临...
钱林茂宋晨飞周仲荣余家欣余丙军陈磊
基于摩擦化学诱导刻蚀的单晶硅表面无损伤纳米加工方法
一种基于摩擦化学诱导刻蚀的单晶硅表面无损伤纳米加工方法，主要应用于单晶硅表面纳米结构的加工。其具体操作方法是：先用湿法氧化的方法在单晶硅表面生长SiO<Sub>x</Sub>薄层，然后将生长有SiO<Sub>x</Sub...
钱林茂郭剑陈磊余丙军宋晨飞
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多点接触模式下的大面积摩擦诱导微米级加工装置
一种多点接触模式下的大面积摩擦诱导微米级加工装置，由基座、加工平台驱动装置、加载机构和数据采集及控制系统组成，其中：加工平台驱动装置由水平二维电控平移台、手动三维位移台和“L”型的样品台主成；加载机构的构成则是：基座上表...
钱林茂吴治江余丙军宋晨飞周仲荣
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