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张秋香
作品数:
4
被引量:4
H指数:1
供职机构:
上海建桥学院机电学院电子工程系
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相关领域:
电气工程
文化科学
政治法律
一般工业技术
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合作作者
胡琳琳
华中科技大学教育科学研究院
周艳
华中科技大学教育科学研究院
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远程开放教育
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教学
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放教
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ZRO2薄膜
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ALD
机构
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上海建桥学院
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作者
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张秋香
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周艳
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胡琳琳
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上海建桥学院...
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1篇
2018
1篇
2013
1篇
2008
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埃及开罗大学的远程开放教育及对我国远程教育发展的启示
2008年
埃及开罗大学实施远程开放教育,为各类人员提供接受高等教育的机会,在办学制度、课程管理、专业设置、设施建设、教学管理和学习支持服务等方面体现出开放办学的教学理念。埃及开罗大学远程开放教育的经验可以为我国远程教育的发展提供借鉴。
胡琳琳
周艳
张秋香
关键词:
开放教育
远程教育
教学理念
MIM电容研究进展
被引量:4
2013年
随着集成电路的发展,传统的电容器件已经不能满足射频电路的要求。金属-绝缘体-金属(MIM)电容器件成为替代传统电容器的新型电容器件。文章介绍了对MIM电容的要求,制备MIM电容的主要方法,总结了MIM电容的研究现状以及待解决的问题。
张秋香
关键词:
ALD
退火对ZrO2介质MIM电容器性能的影响
2018年
文章对10nm和20nm两种厚度的ZrO2介质金属-绝缘体-金属(MIM)电容器在退火条件为420℃下(在N2/H2气氛中退火5min)前后的性能作了对比研究。结果表明,退火后电容密度增加,对于10nm和20nm两种厚度的电容器,电容密度分别增加了33%和31%,同时漏电流密度降低近一个数量级,这是因为退火能消除介质层中的氧缺陷和其他杂质,而使漏电流减小。
张秋香
关键词:
ZRO2薄膜
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