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徐仁伯
作品数:
3
被引量:4
H指数:1
供职机构:
湖南大学物理与微电子科学学院
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发文基金:
湖南省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
电气工程
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合作作者
侯志春
湖南大学物理与微电子科学学院
章兢
湖南大学电气与信息工程学院
晏敏
湖南大学物理与微电子科学学院
何敏
湖南大学电气与信息工程学院
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湖南大学
作者
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徐仁伯
1篇
何敏
1篇
晏敏
1篇
章兢
1篇
侯志春
传媒
1篇
宇航计测技术
年份
2篇
2008
共
3
条 记 录,以下是 1-2
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基于双电测组合法半导体材料电阻率测试仪的研制
被引量:2
2008年
采用双电测组合法设计了一款用于测试半导体材料方块电阻和体电阻率的测试仪,它是以凌阳单片机SPCE061A为控制核心,通过冗余通道法、PID算法和平均滤波法,提高了系统的测量准确度和智能化水平。实际运行结果表明:与传统直流四探针测试法相比,该双电测试法测量结果与探针间距无关,能自动修正边界误差和量程的转换,还可以测量材料的匀均性,较好地满足了生产与教学需要。
晏敏
徐仁伯
章兢
侯志春
何敏
关键词:
半导体材料
电阻
电阻率
测量仪表
多功能半导体材料测试仪的设计
导电类型、方块电阻和电阻率是半导体材料最重要的特性参数,通过对其判别和测量,可以掌握不同种样品中杂质浓度的分布情况。因此,在半导体行业中,必须快速、准确地对硅晶圆片导电类型、方块电阻和电阻率进行判‘断、测量和分档。 ...
徐仁伯
关键词:
导电类型
方块电阻
电阻率
数据处理
文献传递
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