2025年1月24日
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李晓静
作品数:
90
被引量:47
H指数:4
供职机构:
中国兵器科学研究院
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国家自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
理学
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电子电信
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合作作者
王大森
中国兵器科学研究院
聂凤明
中国兵器科学研究院
裴宁
中国兵器科学研究院
郭海林
中国兵器科学研究院
张广平
中国兵器科学研究院
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作者
90篇
李晓静
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王大森
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聂凤明
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裴宁
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张广平
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2篇
2011
5篇
2010
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90
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确定光学元件离子束均匀等速刻蚀最优延拓距离的方法
本发明涉及一种确定光学元件离子束均匀等速刻蚀最优延拓距离的方法,包括以下步骤:1)确定元件面形采样阵的采样间距和驻留时间面形的采样间距;2)等速均匀刻蚀;3)通过预测曲线确定驻留时间面形的最优延拓距离。设置边界因子,把不...
李晓静
王大森
张旭
郭海林
裴宁
聂凤明
文献传递
传动轴挤压制备方法
一种传动轴挤压制备方法,其特征在于包括如下步骤:①下料,选用7075铝合金挤压棒材,下料规格根据实际要求进行等体积下料;②坯料机加工,进行车削外圆并车平两端面,棒料长度中心位置钻限位通孔,限位通孔中心过圆棒的几何中心;③...
陈刚
李晓静
张继军
郑阳升
刘宽心
郑顺奇
史秀梅
倪杨
文献传递
一种用于离子束抛光的可调节移动式球形夹具及其使用方法
本发明公开了一种用于离子束抛光的可调节移动式球形夹具及其使用方法,包括支撑板以及设置在支撑板上的电机组件、传动组件、升降组件以及抓取组件,通过本发明专利能够掌控球形构件的夹持力度,减少等离子加工时造成加工中断的情况出现,...
李晓静
蒋凯
朱航
巩书通
吴晓雪
一种射频离子源离子束束径约束器、束径控制装置及方法
本发明涉及一种射频离子源离子束束径约束器,其特征在于:所述束径约束器包括具有可供离子束穿过的中空结构的底座、多个叶片及驱动机构;所述多个叶片设于底座一端并环绕中空结构呈圆周排布,多个叶片的尾端伸入中空结构所在区域以围合形...
李晓静
王大森
张旭
郭海林
夏超翔
张宁
赵仕燕
文献传递
一种小型椭球式等离子反应腔及其制造方法
一种小型椭球式等离子反应腔及其设计方法,包括腔体、设置在腔体内的沉积室以及同轴天线,腔体为下部切边的椭球状金属腔体,椭球状金属腔体的长轴直径Z=430~440mm,短轴半径R=160~170mm,沉积室是由沉积基台与石英...
李晓静
聂凤明
王大森
张广平
裴宁
张旭
冯时
文献传递
一种表征射频离子源离子束特性的测量方法
本发明涉及一种表征射频离子源离子束特性的测量方法,所述方法包括S1、真空腔室内固定硅片并将稳定后的离子束垂直投射于硅片上即α=0;S2、调整离子束引出端面与硅片之间的距离WD以调整形成于硅片上的束斑,并据此束斑分析离子束...
王大森
李晓静
聂凤明
裴宁
郭海林
张旭
夏超翔
带法兰凸缘轮辋挤扩成形方法
一种带法兰凸缘轮辋挤扩成形方法,其特征在于包括如下步骤:①下料工序;②加热工序,对经下料工序的棒料和挤压模具分别加热至开挤温度;③双向挤扩成形工序。与现有技术相比,本发明的优点在于:工序少,成套成形工装和设备投入,适合工...
陈刚
张继军
刘宽心
李晓静
郑阳升
史秀梅
倪杨
郑顺奇
文献传递
一种射频离子源离子束稳定性判断方法
本发明涉及一种射频离子源离子束稳定性判断方法,包括,S1,射频离子源开启时间t满足条件ta≤t≤tb时,每间隔时间△t对离子束进行法拉第扫描并获取对应时刻ti的束流度实际测量数值Ii和峰值束流密度Jmaxi;S2,计算时...
李晓静
聂景江
赵仕燕
吴鹏飞
文献传递
一种光学元件的车削定心装置
本发明涉及一种光学元件的车削定心装置,其特征在于:包括活动基座,用于安装在机床上;依次重叠的多个叶片,各叶片可摆动地设于所述活动基座上,多个叶片的内壁能够围合成供光学元件穿设的通孔,且所述活动基座安装于机床状态下,所述通...
夏超翔
聂凤明
王大森
郭海林
张旭
李晓静
张广平
裴宁
一种微波等离子谐振腔
本实用新型涉及一种微波等离子谐振腔,其包括金属腔,该金属腔的顶部的中间设有一调节结构,该调节结构的内部设有一气体入口通道,该金属腔的底部设有一基台以及两个对称设置的气体出口通道,所述两个气体出口通道设于所述基台的两侧,所...
李晓静
郑顺奇
郑阳升
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