王向武 作品数:26 被引量:35 H指数:4 供职机构: 南京电子器件研究所 更多>> 相关领域: 电子电信 更多>>
X波段硅里德型双漂移崩越二极管外延材料 1994年 采用全外延工艺,研制了X波段里德型双漂移崩越二极管所需πpnγN ̄+多层外延材料,分析了各过渡区的形成机理及减小其宽度的方法,实现了陡峭的杂质浓度分布。 王向武 陆春一 赵仲镛关键词:崩越二极管 硅 N^-/P^+异型高阻厚层硅外延材料 1997年 研制了N-/P+异型、高祖、厚层硅外延材料,并对厚层外延及高用异型外延中出现的问题进行了讨论,提出了提高外延材料质量的方法。 王向武 马利行 徐红钢 陆春一关键词:硅外延 高阻 厚层 自掺杂 减小硅外延自掺杂的一种新方法 1990年 本文提出了一种新的减小硅外延自掺杂影响的二步外延方法,采用该方法,在均匀的重掺As衬底上,用SiCl4源外延,以10614-10^18/cm3浓度计算,获得了≤0.54um的过渡区宽度。 王向武 陆春一 等关键词:硅 半导体 减小硅外延自掺杂的一种新方法 被引量:1 1992年 本文提出了一种新的减小硅外延自掺杂影响的二步外延方法。利用该方法在均匀的重掺As衬底上外延,以10^(14)~10^(18)/cm^3浓度区域计算,获得了≤0.70μm的过渡区宽度,平坦区浓度≤1.5×10^(13)/cm^3,明显小于利用通常的二步外延工艺所得结果。 王向武 陆春一 赵仲镛关键词:硅 外延层 掺杂 衬底 用于HBT的AlGaAs/GaAs MOVPE材料 2005年 通过LP-MOVPE研制了实用化的AlGaAs/GaAsHBT材料。采用CCl4作为P型掺杂剂进行基区重掺杂。所作HBT增益为20~35,截止频率fT>50GHz,最大振荡频率fmax>60GHz,X波段功率HBT输出功率大于5W。 王向武 黄子乾 潘彬 李肖 张岚关键词:异质结双极晶体管 金属有机化合物气相淀积 分子束外延生长InGaAs/GaAs异质结及其在独特场效应晶体管中的应用(英文) 2000年 用分子束外延技术生长了 In Ga As/Ga As异质结材料 ,并用 HALL效应法和电化学 C- V分布研究其特性。讨论了 In Ga As/Ga As宜质结杨效应晶体管 ( HFET)的优越性。和 Ga As MESFETS或 HEMT相比 ,由于 HFET没有 Al组份 ,具有低温特性好 ,低噪声和高增益等特点。本文研究了具有 In Ga As/Ga As双沟道和独特掺杂分布的低噪声高增益 HFET。 谢自力 邱凯 尹志军 方小华 王向武 陈堂胜关键词:场效应晶体管 分子束外延生长 INGAAS/GAAS 异质结 MOCVD AlGaAs/GaAs HBT材料生长中基区、发射区结偏位的分析与控制 被引量:1 2004年 分析了MOCVDAlGaAs/GaAsHBT外延材料生长中基区、发射区异质结界面与P N结界面产生偏离的原因 ,计算了外延生长参数对结偏离的影响 ,得到了对于C、Mg及Zn作为P型掺杂剂时 ,使得结偏位为 0时所需生长的GaAsspace层厚度 ,它们分别为 1~ 1.5nm、3~ 4nm及 12~ 15nm。计算与器件研制结果基本相符。 王向武 李肖 张岚 黄子乾 潘彬关键词:异质结双极晶体管 金属有机化合物气相淀积 分别限制异质结可见光半导体激光器 1994年 研制成功高峰值功率分别限制异质结可见光半导体激光器,从理论及实验上研究了结构参数对器件性能的影响,得到了最佳的设计参数。 王向武 张兴德 任大翠关键词:异质结 可见光 半导体激光器 LP-MOCVD生长大功率InGaAsP/GaAs量子阱激光器 2000年 设计并利用LP-MOCVD生长了InGaAsP/GaAs分别限制单量子阱结构,采用无铝的InGaP做光学包层。腔面未镀膜情况下,测试10支条宽100μm,腔长1mm的激光器样品,连续输出功率超过1W,阈值电流密度为330~490A/cm2,外微分量子效率为55%~78%,中心发射波长为(808±3)nm。 李忠辉 张宝顺 杨进华 张兴德 王向武关键词:LP-MOCVD INGAASP/GAAS 量子阱激光器 分别限制异质结激光器的特性研究 被引量:1 1989年 通过理论及实验研究了结构参数对分别限制异质结激光器的输出功率、阈值及束发散的影响,得到了最佳的设计参数。 王向武 张兴德 任大翠 杨海泉关键词:激光器 结构参数