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莘海维

作品数：15 被引量：51H指数：4
供职机构：上海交通大学微电子学院微电子技术研究所更多>>
发文基金：山西省青年科技研究基金教育部重点实验室基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 12篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 5篇电子电信
  • 5篇自动化与计算...
  • 3篇金属学及工艺
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 8篇金刚石
  • 8篇刚石
  • 7篇金刚石薄膜
  • 5篇感器
  • 5篇传感
  • 5篇传感器
  • 4篇压力传感器
  • 4篇压阻
  • 4篇力传感器
  • 4篇介电
  • 4篇ALN薄膜
  • 3篇电性能
  • 3篇压阻式
  • 3篇微压
  • 3篇微压力传感器
  • 3篇纳米
  • 3篇纳米金刚石
  • 3篇纳米金刚石薄...
  • 3篇介电性
  • 3篇介电性能

机构

  • 12篇上海交通大学
  • 4篇太原理工大学
  • 1篇西安交通大学

作者

  • 15篇莘海维
  • 10篇张志明
  • 9篇沈荷生
  • 8篇戴永兵
  • 5篇凌行
  • 4篇万永中
  • 4篇潘俊德
  • 4篇奚正蕾
  • 4篇田林海
  • 3篇孙方宏
  • 3篇贺琦
  • 1篇汪涛
  • 1篇戴永斌
  • 1篇陆鸣
  • 1篇何贤昶
  • 1篇赵晋香
  • 1篇胡晓君

传媒

  • 4篇微细加工技术
  • 3篇热加工工艺
  • 1篇传感器技术
  • 1篇物理学报
  • 1篇化学世界
  • 1篇上海交通大学...
  • 1篇航空精密制造...
  • 1篇2001年纳...

年份

  • 2篇2003
  • 4篇2002
  • 5篇2001
  • 4篇2000
共 15 条 记 录，以下是 1-10
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