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邸荻

作品数：17 被引量：9H指数：2
供职机构：国防科学技术大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 14篇专利
  • 2篇学位论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 4篇一般工业技术
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 14篇纳米
  • 14篇金属
  • 12篇金属纳米
  • 6篇致密
  • 6篇模版
  • 6篇兼容性
  • 4篇纳米球
  • 4篇金属纳米颗粒
  • 3篇光学
  • 3篇硅
  • 2篇等离子体
  • 2篇等离子体刻蚀
  • 2篇形貌特征
  • 2篇掩模
  • 2篇氧化硅
  • 2篇氧化硅薄膜
  • 2篇制备金属
  • 2篇纳米孔
  • 2篇纳米孔阵列
  • 2篇金属膜

机构

  • 17篇国防科学技术...

作者

  • 17篇邸荻
  • 15篇董培涛
  • 15篇吴学忠
  • 12篇王浩旭
  • 12篇陈剑
  • 12篇王朝光
  • 12篇王俊峰
  • 8篇吕宇
  • 3篇陈骄
  • 2篇陈志华
  • 2篇肖定邦
  • 2篇吴小梅
  • 2篇张旭

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 6篇2014
  • 1篇2013
  • 4篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2005
共 17 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
金属杯-柱复合纳米结构阵列及其制备方法
本发明公开了一种全新的金属杯-柱复合纳米结构阵列，其主要由金属纳米结构阵列单元有序排列而成，所述金属纳米结构阵列单元为金属杯-柱复合纳米结构，所述金属杯-柱复合纳米结构包括一杯形的金属纳米外壁，该金纳米外壁围成的杯槽的中...
董培涛吴学忠邸荻王朝光王浩旭陈剑吕宇王俊峰
文献传递
振动式微机械陀螺的设计与仿真
本论文主要围绕一种无需真空封装,可在大气环境下工作的解耦型微机械振动式陀螺开展,进行了器件的设计和特性研究,为进一步制作器件打下了基础。 主要内容如下: 1.分析了微机械陀螺的运动特性、静电驱动特性和在大气下的阻尼特性,...
邸荻
关键词：微电子机械系统微机械陀螺角速度传感器解耦
金属-二氧化硅多层薄膜空心纳米结构阵列及其制备方法
本发明公开了一种金属-二氧化硅多层薄膜空心纳米结构阵列及其制备方法。该金属-二氧化硅多层薄膜空心纳米结构阵列包括一玻璃基底，玻璃基底表面由下至上依次设有二氧化硅薄膜空心纳米结构阵列和一层以上的金属薄膜纳米结构阵列。制备方...
董培涛吴学忠邸荻陈剑王浩旭王朝光王俊峰
文献传递
三角形金属纳米孔阵列的制备方法
本发明公开了一种三角形金属纳米孔阵列的制备方法，包括制备双层有序聚苯乙烯纳米球致密排列，制备下层三瓣形排列和上层聚苯乙烯纳米球非致密排列，制备三角形纳米孔阵列结构的金属掩模，制备三角形硅纳米孔阵列模版和制备三角形金属纳米...
董培涛吴学忠王朝光邸荻陈剑王浩旭吕宇王俊峰
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TMAH溶液中的(110)硅各向异性湿法腐蚀及其在不同添加剂下的腐蚀特性研究被引量：5
2011年
研究了TMAH溶液中(110)硅片在不同几何形状掩膜窗口下的各向异性湿法腐蚀行为,探讨了(110)硅在TMAH与不同添加剂(过硫酸铵、异丙醇等)构成的腐蚀系统下的腐蚀特性。利用场发射扫描电子显微镜(SEM)观测(110)硅的腐蚀坑腔结构,利用扫描探针显微镜(SPM)测量(110)硅腐蚀的表面粗糙度。结果表明:(110)硅片腐蚀的坑腔结构与掩膜窗口的大小和腐蚀时间有关;在充分腐蚀的情况下,(110)硅片腐蚀的坑腔结构是由四个与表面垂直的(111)面和另外两个与表面成35.26°夹角的(111)面围成的结构;过硫酸铵和异丙醇能显著改善腐蚀表面质量。
陈骄董培涛邸荻吴学忠
关键词：TMAH过硫酸铵异丙醇
金属-二氧化硅多层薄膜空心纳米结构阵列及其制备方法
本发明公开了一种金属-二氧化硅多层薄膜空心纳米结构阵列及其制备方法。该金属-二氧化硅多层薄膜空心纳米结构阵列包括一玻璃基底，玻璃基底表面由下至上依次设有二氧化硅薄膜空心纳米结构阵列和一层以上的金属薄膜纳米结构阵列。制备方...
董培涛吴学忠邸荻陈剑王浩旭王朝光王俊峰
带有尖端的金属纳米带阵列的制备方法
本发明公开了一种带有尖端的金属纳米带阵列的制备方法，包括制备单层有序聚苯乙烯纳米球致密排列、制备单层有序聚苯乙烯纳米球非致密排列、蒸镀金属和制备金属纳米带阵列等工艺步骤，其中，在蒸镀过程中，将硅片倾斜，使所述硅片的法线方...
吴学忠董培涛王浩旭王朝光陈剑邸荻吕宇王俊峰
文献传递
硅柱支撑的金属膜纳米结构阵列及其制备方法
本发明公开了一种硅柱支撑的金属膜纳米结构阵列及其制备方法。该硅柱支撑的金属膜纳米结构阵列包括一硅片基底，硅片基底上设有硅柱纳米结构阵列，硅柱纳米结构阵列上设有金属膜纳米结构阵列，金属膜纳米结构阵列单元设于硅柱纳米结构阵列...
吴学忠董培涛王浩旭陈剑邸荻王朝光王俊峰
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月牙形金属纳米结构的制备方法
本发明公开了月牙形金属纳米盘阵列、硅柱支撑的月牙形金属纳米盘结构阵列和离散月牙形金属纳米颗粒等三种月牙形结构阵列的制备方法；月牙形金属纳米盘阵列的制备方法包括制备单层有序聚苯乙烯纳米球致密排列、制备单层有序聚苯乙烯纳米球...
吴学忠董培涛陈剑王朝光王浩旭邸荻吕宇王俊峰
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金属纳米结构阵列的制备方法
本发明公开了一种金属纳米结构阵列的制备方法，该方法是以硅片为基底，将均匀分散后的二氧化硅纳米球旋涂于硅片基底表面，形成单层有序二氧化硅纳米球致密排列；再采用感应耦合等离子体刻蚀法成形单层有序二氧化硅纳米球非致密排列；再在...
吴学忠董培涛肖定邦邸荻吴小梅陈志华张旭陈骄
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