马军
- 作品数：43 被引量：47H指数：5
- 供职机构：中国科学院声学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院重点部署项目国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 具有串联结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法
- 本发明涉及一种具有串联结构的MEMS压电矢量水听器，包括：1‑3个传感单元和灌封结构，1‑3个传感单元被相互垂直放置在灌封结构；其中，每个传感单元包括至少两个压电传感芯片、绝缘板和后置放大电路，至少两个压电传感芯片串联焊...
- 汪承灏李俊红魏建辉马军任伟
- 文献传递
- 硅微传声器研究进展
- ＜正＞1．概述硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器。自2002年起,中国科学院声学研究所在中国科学院知识创新工程试点项目、国家863计划MEMS重大专项课题和国家自然科学基金“半导体集成...
- 田静汪承灏徐联乔东海马军魏建辉
- 文献传递
- 一种固-液/液-固分层介质的目标定位方法
- 本发明公开了一种固‑液/液‑固分层介质的目标定位方法；所述方法包括：根据发射阵元发射的声脉冲经分层界面到达目标的旅行时和目标散射到达接收阵元的旅行时计算旅行时差T；接收阵元提前T发射逆向声束，使得发射阵元到目标正向接收的...
- 杨红娟汪承灏高翔马军王文
- 文献传递
- 基于硅膜的电容式高灵敏度低频传声器研究被引量：1
- 2009年
- 在电容式传声器相关理论以及方形膜研究的基础上,采用圆形硅膜作为振动膜,研制了电容式低频传声器,该传声器直接采用音频传声器结构,不同于以往的电容式低频传声器结构。首先进行了等效结构参数的仿真,为实验提供了理论支持;然后,制备了直径为0.08m,厚度约60μm的圆形硅膜,并以此硅膜为振动膜研发了一种高灵敏度的低频传声器,其中,两极板间的气隙厚度约为100μm。测试表明,当偏置电压为4.5V时,该传声器具有较高的灵敏度,100Hz处的灵敏度约为-27dB,通频带(20～300Hz)平坦,低频响应部分(0～20Hz)需要改进方法进一步测试。
- 宫铭举邓越马军汤亮乔东海何庆王孟姣
- 关键词：低频电容式高灵敏度通频带
- 基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究被引量：4
- 2012年
- 为提高微电子机械系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)压电传声器的灵敏度和成品率,提出一种优化设计的圆形振动膜MEMS压电传声器。采用硼扩散方法实现振动膜的圆形支撑墙,避免由于方形支撑墙造成的四角应力集中,并通过深硼扩散技术,增加圆形围墙的厚度,避免了振动膜的'软'支撑问题;振动膜采用Si3N4/SiO2/Si3N4复合结构,减少振动膜的内应力;采用电极分割串联技术,传声器被分割成在声学上并联、在电学上串联的若干部分,以期提高MEMS传声器的灵敏度。在结构优化的基础上,利用MEMS技术制备压电微传声器,所制备传声器振动膜平坦、无褶皱,成品率有了明显提高。在消声室中采用同时比较法对传声器进行测量,优化设计的圆形振动膜传声器的灵敏度有了明显提高,达到0.3 mV/Pa。
- 李俊红汪承灏刘梦伟马军魏建辉
- 关键词：微机电系统分割电极
- 适用于SOC的声、热、力微传感器系统基础研究
- 田静徐联黄歆乔东海马军金国华李俊红邓英魏建辉
- 1 硅微电容传声器：硅微电容传声器即将成为继喷墨打印头、汽车防撞气囊用加速度计之后第三种大规模产业化的MEMS产品，可望克服近来实用MEMS领域进展缓慢的颓势，意义十分重大。本工作创新地提出了圆形振动膜结构硅微电容传声器...
- 关键词：
- 关键词：电容传声器微传声器
- 外围减薄振动膜的硅微电容传声器
- 硅微电容传声器是 MEMS 技术的一个热点.为了减小硅微传声器的体积,需要减小传声器振动膜的面积.由于传声的灵敏度是与振动膜的张力成反比的.减小振动膜的张力是小面积振动膜传声器灵敏度提高的一个有效途径. 减小振动膜张力的...
- 张晓辉汪承灏徐联魏建辉马军李俊红
- 关键词：硅微电容传声器振动膜
- 文献传递
- 时间反转和逆时偏移混合法用于层状介质中目标检测和定位的声场分析被引量：3
- 2018年
- 基于时间反转和逆时偏移混合方法用于分层介质中目标的声学检测和定位的原理,本文对分层介质中目标检测和定位的声场进行了数值分析。首先给出了声场分布数值仿真的方法和步骤,进一步采用单发多收和多发多收两种方式对单个目标和多个目标计算出其声场分布。数值仿真结果表明可以较好地实现对目标的检测和定位。比较发现,单发单收方式和多发多收方式都得到较好的结果,但多发多收方式计算耗时过多,因此不宜采用。另外,对多个目标的探测提出了改进方法。
- 高翔李鉴师芳芳师芳芳马军王文
- 关键词：目标检测声场分析逆时偏移层状介质混合法分层介质
- 基于PZT薄膜面内极化工作的硅微传声器设计与制作
- ＜正＞1引言硅微传声器是声学微机电系统（Acoustic MEMS）的重要组成部分,主要分为电容式微传声器和压电式微传声器,目前,电容式微传声器已经走向产业化。与电容式相比,压电式微传声器具有
- 刘梦伟汪承灏李俊红徐联马军
- 文献传递
- MEMS压电矢量水听器低噪声前置放大电路
- 2024年
- 等效自噪声是微机电系统(MEMS)压电矢量水听器重要的性能指标,前置放大电路的噪声是其主要来源之一。为降低MEMS压电矢量水听器的自噪声,设计了一种低噪声前置放大电路。采用双JFET并联电路结构,辅以合适的偏置电路,对不同噪声源进行理论分析,优化电路参数,最终实现了噪声性能较优的低噪声前置放大电路的设计与制备。测试结果表明,在MEMS压电矢量水听器的工作频带内,低噪声前置放大电路信号放大无失真,电压增益为43.8d B,等效输入噪声电压谱密度为0.7nV√Hz@1 kHz其噪声性能较国内外同类型的放大电路具有一定优势。
- 邓威樊青青李俊红马军孔超
- 关键词：前置放大电路
