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丰玉琴
作品数:
3
被引量:32
H指数:3
供职机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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发文基金:
国家杰出青年科学基金
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相关领域:
机械工程
化学工程
电子电信
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合作作者
牛海燕
中国科学院长春光学精密机械与物...
张学军
中国科学院长春光学精密机械与物...
范镝
中国科学院长春光学精密机械与物...
张忠玉
中国科学院长春光学精密机械与物...
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主题
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碳化硅
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机构
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中国科学院长...
作者
3篇
张忠玉
3篇
范镝
3篇
丰玉琴
3篇
张学军
3篇
牛海燕
传媒
2篇
光学技术
1篇
硅酸盐学报
年份
1篇
2004
2篇
2003
共
3
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反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工
被引量:18
2003年
介绍了100mm口径反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工工艺流程。按照流程依次介绍了在粗磨成形、细磨抛光和精磨抛光过程中使用的机床、磨具和磨料以及采用的工艺参数和检测方法。介绍了在光学加工各个步骤中应注意的问题。展示了加工后反应烧结碳化硅平面反射镜的实物照片。给出了面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度(95%孔径)均方根值(RMS)为0.030λ(λ=632.8nm),表面粗糙度RMS值达到了1.14nm(测量区域大小为603 6μmⅹ448 4μm)。
范镝
张学军
张忠玉
牛海燕
丰玉琴
关键词:
反应烧结碳化硅
光学加工
面形精度
粗糙度
平面反射镜
反应烧结碳化硅球面反射镜的光学加工与检测
被引量:13
2004年
介绍了250mm口径、4200mm曲率半径的反应烧结碳化硅球面反射镜光学加工和检测的工艺流程;并按照流程依次介绍了在研磨成型、细磨抛光和精抛光过程中使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。介绍了在光学加工和检测各个步骤中应注意的问题。展示了加工后250mm口径反应烧结碳化硅球面反射镜的实物照片,并给出了面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度(95%孔径)均方根值(RMS)为0.037波长(λ=632.8nm),表面粗糙度RMS值达到1.92nm(测量区域大小为603.6ⅹ448.4μm)。
范镝
张忠玉
牛海燕
丰玉琴
张学军
关键词:
反应烧结碳化硅
光学加工
面形精度
粗糙度
空间光学系统
碳化硅光学镜面加工
被引量:10
2003年
简要介绍了碳化硅光学镜面的主要应用领域;碳化硅材料的主要物理特性和几种常用的制备方法;比较了碳化硅材料与其他常用光学镜面介质材料的主要物理性质。介绍了碳化硅光学镜面的光学加工的流程和加工手段;比较分析了碳化硅光学镜面的光学加工过程各个步骤中所应用的磨具、磨料和加工方法。讨论了光学加工过程中各个步骤工艺参数的选择和降低碳化硅光学镜面表面粗糙度的途径。最后,简介了美国、俄罗斯和我国在碳化硅反射镜的光学加工方面所取得的成果。
范镝
张忠玉
牛海燕
丰玉琴
张学军
关键词:
碳化硅
光学镜面
光学加工
面形精度
粗糙度
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