刘玉华
- 作品数:4 被引量:8H指数:2
- 供职机构:暨南大学理工学院物理学系更多>>
- 发文基金:广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学环境科学与工程一般工业技术电子电信更多>>
- 光纤ZnO薄膜的制备及光催化性能研究被引量:3
- 2005年
- 实验利用射频磁控溅射镀膜工艺,分别在光纤和石英玻璃上成功制备了ZnO薄膜。采用X射线衍射仪、原子力显微镜和荧光分光光度计对薄膜进行了测试分析,并对其光催化降解苯酚的性能进行了对比测试。结果表明,该薄膜具有良好的C轴取向性,光致发光峰分别位于362nm、421nm和486nm附近,且随着薄膜样品晶粒的减小而出现蓝移,光纤上ZnO薄膜的光催化能力是以石英玻璃为基底的ZnO薄膜的193倍,光催化效果显著。
- 王英连刘玉华任思雨孙汪典
- 关键词:石英玻璃镀膜工艺ZNO薄膜C轴取向蓝移射频磁控溅射
- ZnO薄膜的磁控溅射法制备及特性研究
- Zinc oxide (ZnO) thin films were successfully prepared onto microscope slides, quartz glasses and silicon wafe...
- 刘玉华
- 关键词:氧化锌薄膜磁控溅射法
- 文献传递
- ZnO薄膜的射频磁控溅射法制备及特性被引量:5
- 2004年
- 利用射频磁控溅射镀膜工艺,在石英玻璃衬底上成功制备了ZnO薄膜.采用原子力显微镜、X射线衍射、拉曼光谱、荧光分光光度计及椭偏等检测手段对其特性进行了测试、分析.研究结果表明:该薄膜具有良好的C轴取向结晶度;最佳激发波长为265 00nm,光致发光峰分别位于362 00、421 06和486 06nm;437cm-1是ZnO晶体的特征拉曼峰,该峰的出现与最强的X射线衍射(002)峰相对应;薄膜折射率为2 01.
- 刘玉华孙汪典
- 关键词:ZNO薄膜射频磁控溅射光致发光折射率
- 溶胶-凝胶法与射频磁控溅射法制备ZnO薄膜及其表征对比被引量:1
- 2004年
- 分别对溶胶-凝胶法和磁控溅射法制备ZnO进行了详细的介绍,并借助X射线衍射、原子力显微镜、拉曼光谱分析、紫外吸收等检测手段对这两种方法生长的薄膜进行了分析比较。分析显示:相同石英基底,相同退火温度下生长ZnO薄膜,磁控溅射法生长的ZnO薄膜要比溶胶-凝胶法生长的ZnO薄膜有更优异的c轴取向特性,生长的薄膜结晶更加均匀、致密。
- 任思雨王英连孙汪典刘玉华
- 关键词:ZNO薄膜溶胶-凝胶磁控溅射