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山田公
山田公
作品数:
6
被引量:2
H指数:1
供职机构:
日本京都大学
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
田民波
清华大学材料科学与工程系
冯晓东
清华大学材料科学与工程系
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清洁化
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离化
1篇
离子
1篇
离子团
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流体力学
1篇
二氧化硅
1篇
辐照
1篇
辐照效应
1篇
SI
1篇
SIO
1篇
硅
1篇
CO2
机构
6篇
清华大学
6篇
日本京都大学
作者
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田民波
6篇
山田公
1篇
冯晓东
传媒
2篇
Journa...
2篇
真空
2篇
真空科学与技...
年份
4篇
1997
2篇
1996
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CO_2离化团束辐照Si表面形成SiO_2膜的分析
被引量:1
1997年
由CO2离化团束辐照Si表面形成的氧化层的厚度与CO2团束大小及团束能量相关,而其成分接近SiO2在低辐照剂量下,氧化层增厚服从反应规律,而在高剂量下服从扩散规律.
田民波
冯晓东
山田公
关键词:
二氧化碳
二氧化硅
CO_2离化团束对Si基板表面的辐照效应
被引量:1
1997年
利用RBS和椭圆仪分析对CO2离化团束引起的硅表面的损伤进行了研究.实验发现,采用大尺寸团束照射,损伤程度小而且损伤层薄;团束尺寸越大,越容易形成低损伤的氧化层;随剂量增大,损伤部分发生氧化的比例增加,而且在单晶Si基板上经过极薄的过渡区形成氧化层.
田民波
山田公
关键词:
二氧化碳
硅
辐照效应
超音速自由喷流形成CO2团束
1996年
设计并制造了喷咀——分流器系统以产生气体团束。为搞清气体团束的产生过程,进行了流体力学分析。
田民波
山田公
关键词:
流体力学
CO_2团束的离化、加速及质量分离
1996年
设计并制造了CO2离化装置——由电子轰击对团束进行离化,由电极电位进行加速,由阻止势进行质量分离。通过实验确定了最佳参数,其中包括:离化电子电流和电压、加速电压、阻止电势、供气压力等。
田民波
山田公
关键词:
二氧化碳
离化
气体离化团束对表面的平坦化及清洁化效果
1997年
用原子力显微镜测量了气体离化团束照射后表面粗糙度的变化。已经证实气体团束轰击对表面沾污具有很高的清除率,同时却引起较低的损伤。气体离化团束优良的平坦化和清洁化效果可能与照射中多体碰撞、侧向溅射及高能量密度的沉积相关。
田民波
山田公
关键词:
溅射
气体离化团束溅射研究
1997年
研究了CO2,Ar离化团束对不同金属系统及SiO2表面的溅射效应。离化团束的溅射产额比之单体离子束高100倍以上。气体离化团束的高溅射产额可能是由于多体碰撞、侧向溅射及高能量密度的照射引起的。
田民波
山田公
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