张贵彦
- 作品数：20 被引量：75H指数：5
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- 相关领域：理学电子电信机械工程医药卫生更多>>
- 薄膜应力激光测量方法分析被引量：4
- 2005年
- 总结了薄膜应力的一些测量方法。分析了利用测量基片弯曲曲率的激光宏观变形分析法———激光干涉法、激光束偏转法的理论依据及其测量原理,计算了各种测量方法的测量精度。激光干涉法的精度可达 0. 92%,可测量的最小应力值为 15. 7MPa;激光束偏转法较低,为 2. 12%,可测量的最小应力值为 25. 5MPa,空间分辨率低,约为 100μm。
- 王成马莹张贵彦肖孟超甘志宏缪同群钱龙生
- 关键词：激光应力
- 一种测量光学表面粗糙度的全积分散射仪被引量：10
- 2007年
- 运用全积分散射理论,结合积分球的光度特性,研制了一种用于粗糙度测量的比较法全积分散射仪。用原子力显微镜分析了用相同的抛光工艺制备的三片超光滑硅片的表面粗糙度,其结果均在0.14～0.19 nm之间,说明了此抛光工艺的稳定性;用原子力显微镜测量值为0.143 nm均方根粗糙度的超光滑硅片作为参考样片,比较了其他三片相同工艺制备的硅表面的全积分散射测量结果,结果显示与标准片的测量结果非常接近,均在0.14～0.18 nm之间,验证了全积分散射法的合理性;进一步分析了锗、铝、碳化硅等表面的全积分散射测量结果,结果呈现出明显的差异,说明该方法具有较高的灵敏度和较大的动态范围。
- 张贵彦袁宏韬缪同群
- 关键词：积分球超光滑
- 时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜被引量：2
- 2007年
- 采用双离子束溅射技术、时间控厚方式制备波长532nm绿光激光器用倍频波长分离膜。针对制备过程中产生的半波孔现象,在简单分析形成原因的基础上,采用分组厚度优化方式调整膜层厚度,从而制备出无半波孔的高品质倍频波长分离膜。为时间监控制备非规整膜系的厚度修正提供了一种切实可行的办法。
- 袁宏韬张贵彦
- 介质多层膜热处理分析被引量：4
- 2005年
- 由薄膜压缩应力产生模型和薄膜总应力的组成出发,分析了要改变薄膜的本征应力热处理必须有足够的能量即激活能.当热处理能量低于激活能时,只能改变薄膜热应力,与处理时间无关.热应力与处理温度有线性关系,建立了波长变化量与温度变化量间的关系模型.当热处理能量高于激活能时,本征应力改变,进而波长的改变与时间有关.实验结果表明,从200～300℃的各1,2,5 h保温处理下,波长从1.4 nm线性地增大到4.15 nm,波长变化与处理时间无关.在350℃分别进行1,2,5 h的处理情况下,波长的改变量分别为4.75 nm,5.07 nm,5.7 nm.保温时间短的,波长增量也小.400℃各种处理时,波长的改变基本上与350℃的处理结果类似.充分说明了在较低温度处理时,薄膜应力只有热应力的改变;较高温度处理时,本征应力才会改变.
- 王成高延军肖孟超张贵彦钱龙生
- 关键词：光学薄膜热应力
- 应力变化对多层薄膜窄带滤光片透射光谱的影响被引量：5
- 2004年
- 利用薄膜应力公式和弹性力学的小挠度弯曲理论分析了在应力变化情况下,多层薄膜应变与膜厚变化的关系,并建立其数学模型,提出多层薄膜各层厚度变化的不均匀性理论。利用这个模型在应力减小200MPa条件下对138层4腔的100GHz滤光片光谱进行了模拟,与设计值比较发现中心波长增加了0.562nm;0.5dB处的带宽比设计值减小0.124nm;25dB处的带宽比设计值减小0.01nm;谱线矩形化变差;插损也有明显的增加。说明了应力变化引起的光学薄膜厚度变化的不均匀性是引起这种窄带干涉滤光片光谱退化的主要原因之一。实验结果为100GHz的窄带滤光片热处理后中心波长增加0.325nm;0.5dB处带宽减少0.01nm;20dB处带宽增加0.014nm;插损增加,谱线通带变形严重,纹波增大,光谱退化了。实验结果与理论分析一致。
- 王成张贵彦肖孟超马莹钱龙生
- 关键词：光学薄膜窄带滤光片应力
- 光子嫩肤用滤光片的设计与制备
- 2005年
- 分析了强脉冲光子嫩肤技术所用滤光片的特点。采用解析法构造初始膜系,单纯形法和模拟退火法相结合的优化方法设计了某型光子嫩肤仪用带通滤光片,并用盟特卡罗法分析了随机误差对滤光片光谱特性的影响,得到了理想的设计结果。采用双离子束溅射的方法制备了带通滤光片,从实测光谱图可见,通带平均透过率在95%以上,截止带平均透过率低于0.5%。各项参数均满足设计要求。
- 袁宏韬张贵彦缪同群
- 关键词：光子嫩肤滤光片优化设计离子溅射
- 等离子体辅助制备窄带滤光片
- 研究了采用等离子辅助技术制备窄带滤光片的工艺。介绍了等离子辅助蒸镀系统的基本工作原理，描述了优化膜厚均匀性的过程。在有色玻璃上制备了由多层TiO<,2>和SiO<,2>薄膜组成的窄带滤光片,测试并分析了窄带滤光片的性能。...
- 袁宏韬张贵彦
- 关键词：光学薄膜窄带滤光片光学性能
- 文献传递
- 等离子体辅助制备窄带滤光片被引量：1
- 2007年
- 研究了采用等离子辅助技术制备窄带滤光片的工艺。介绍了等离子辅助蒸镀系统的基本工作原理,描述了优化膜厚均匀性的过程。在有色玻璃上制备了由多层TiO2和SiO2薄膜组成的窄带滤光片,测试并分析了窄带滤光片的性能。试验结果表明,采用等离子体辅助蒸镀技术能够批量制备具有优良光学性能的窄带滤光片。
- 袁宏韬张贵彦
- 关键词：光学薄膜窄带滤光片
- 积分球出射辐照度的Monte Carlo模拟被引量：11
- 2006年
- 应用MonteCarlo法原理,利用区间[0,1]上均匀分布的随机变量产生的均匀照度光源模型及光在积分球内表面的漫反射模型,用Matlab编程,对一积分球出口平面处及距出口100mm以内的10个平面上的辐射能量和辐照度进行了计算机模拟。模型共追迹了100000个光子,结果显示,随着传播距离的增大,辐射总能量不断衰减;小于积分球出口直径时辐照度的均匀性先减小然后又逐渐增强;大于积分球出口直径时辐照度的均匀性不断增强;整个平面上的辐照度随传播距离的增大逐渐趋于均匀。具有一定照度大小的大面积均匀辐射场只能在适当位置处获得。
- 张贵彦王成袁宏韬缪同群
- 关键词：积分球MONTE辐照度漫反射
- 薄膜应力对薄膜测量和使用的影响被引量：1
- 2005年
- 基片在薄膜应力作用下产生宏观弯曲变形,使入射光线的入射角在基片不同位置产生偏差。根据空间两直线夹角公式,计算了入射光线在曲面上任意一点的入射角,得出同一入射方向的光线在曲面不同点具有不同的入射角,即产生入射角度偏差,偏差大小与基片弯曲曲率半径成反比和入射点位置成正比。进而分析了角度偏差对光谱的影响。实验结果表明,离参考点位置越远,波长偏差越大;角度越大,耦合效率越低。实验结果与理论分析一致。
- 王成马莹张贵彦肖孟超钱龙生
- 关键词：薄膜应力入射光线入射角应力作用曲率半径基片
