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李宪国
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2
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供职机构:
青海大学
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
铁生年
青海大学
李健保
青海大学
李星
青海大学
王宁峰
青海大学
岛井骏藏
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张志刚
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1篇
2008
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半导体制造用高纯超细碳化硅粉体材料研究
铁生年
李健保
沈有梓
王宁峰
李宪国
李星
在半导体相关产业,使用各种特性的SiC产品,除SiC基板外,其他产品对陶瓷用原料的SiC粒子或粉末要求有各自不同的特性。该项目充分利用青海省的碳化硅的资源,青海大学和青海省方盛磨料磨具有限公司联合研制半导体制造级耐高温、...
关键词:
关键词:
半导体制造
半导体制造用高纯超细碳化硅粉末关键技术研究
铁生年
岛井骏藏
李健保
李宪国
王宁峰
张芬娟
宋启森
薛伟
李昀珺
李星
陈列
张志刚
莫鹏君
吕勇
董超
赵乐
在半导体相关产业,使用各种特性的SiC产品,除SiC基板外,其他产品对陶瓷用原料的SiC粒子或粉末要求有各自不同的特性。该项目充分利用青海省的碳化硅的资源,青海大学和青海省方盛磨料磨具有限公司联合研制半导体制造级耐高温、...
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半导体
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