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王跃林

作品数：719 被引量：794H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 418篇专利
  • 210篇期刊文章
  • 55篇科技成果
  • 36篇会议论文

领域

  • 171篇电子电信
  • 119篇自动化与计算...
  • 36篇机械工程
  • 21篇一般工业技术
  • 17篇航空宇航科学...
  • 15篇理学
  • 12篇电气工程
  • 3篇交通运输工程
  • 3篇文化科学
  • 2篇化学工程
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇医药卫生
  • 1篇经济管理
  • 1篇建筑科学
  • 1篇环境科学与工...

主题

  • 201篇传感
  • 199篇感器
  • 199篇传感器
  • 125篇微机械
  • 86篇纳米
  • 82篇加速度
  • 80篇红外
  • 76篇刻蚀
  • 64篇速度传感器
  • 59篇加速度传感器
  • 58篇探测器
  • 53篇键合
  • 50篇各向异性腐蚀
  • 49篇硅片
  • 48篇硅
  • 46篇纳米线
  • 45篇衬底
  • 43篇红外探测
  • 37篇电容式
  • 37篇封装

机构

  • 605篇中国科学院
  • 92篇浙江大学
  • 42篇中国科学院上...
  • 26篇中国科学院研...
  • 10篇中国科学院大...
  • 4篇中科院上海微...
  • 3篇上海师范大学
  • 3篇上海交通大学
  • 3篇上海科技大学
  • 2篇复旦大学
  • 2篇北京大学
  • 2篇国防科学技术...
  • 2篇杭州电子科技...
  • 2篇苏州感芯微系...
  • 2篇无锡华润上华...
  • 1篇东北大学
  • 1篇东南大学
  • 1篇华东师范大学
  • 1篇清华大学
  • 1篇上海电力学院

作者

  • 719篇王跃林
  • 257篇李铁
  • 173篇熊斌
  • 108篇李昕欣
  • 79篇车录锋
  • 66篇徐德辉
  • 58篇金仲和
  • 52篇焦继伟
  • 50篇杨恒
  • 45篇冯飞
  • 41篇王翊
  • 26篇刘延祥
  • 24篇吴国强
  • 23篇丁纯
  • 23篇周宏
  • 22篇唐衍哲
  • 21篇吴亚明
  • 21篇马慧莲
  • 21篇马颖蕾
  • 20篇熊斌

传媒

  • 29篇传感技术学报
  • 23篇Journa...
  • 21篇功能材料与器...
  • 10篇传感器与微系...
  • 8篇仪器仪表学报
  • 8篇电子学报
  • 7篇机械强度
  • 7篇光学学报
  • 5篇光学精密工程
  • 5篇半导体技术
  • 5篇中国机械工程
  • 5篇测试技术学报
  • 5篇第八届敏感元...
  • 4篇传感器技术
  • 4篇中国激光
  • 4篇仪表技术与传...
  • 4篇固体电子学研...
  • 3篇光电子．激光
  • 3篇真空科学与技...
  • 3篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2024
  • 21篇2022
  • 21篇2021
  • 25篇2020
  • 16篇2019
  • 15篇2018
  • 15篇2017
  • 14篇2016
  • 29篇2015
  • 35篇2014
  • 42篇2013
  • 39篇2012
  • 24篇2011
  • 25篇2010
  • 41篇2009
  • 32篇2008
  • 53篇2007
  • 43篇2006
  • 55篇2005
  • 46篇2004
共 719 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种将石墨烯转移到具有PDMS过渡层硬质衬底上的方法
本发明公开了一种将石墨烯转移到具有PDMS过渡层硬质衬底上的方法。该方法包括以下步骤：将PDMS胶涂在附着有石墨烯的原衬底上；使所述PDMS胶固化成PDMS过渡层；对该PDMS过渡层与硬质衬底进行等离子处理，然后将该PD...
李铁梁晨王文荣王跃林
文献传递
一种三维红外光源及其制作方法
本发明提供一种三维红外光源及其制作方法，提供一硅片；在该硅片的正反面形成氧化硅薄膜；在正面定义阵列窗口并沿阵列窗口刻蚀氧化硅至暴露出硅表面为止；沿阵列窗口刻蚀硅表面形成硅凹槽阵列；去除硅片正面非刻蚀区域的氧化硅并形成复合...
李铁郭联峰刘延祥王翊周宏王跃林
文献传递
微型热电能量收集器及其制作方法
本发明提供一种微型热电能量收集器及其制作方法，在低阻硅衬底上制作环状沟槽以围成硅热电柱结构，然后在环状沟槽制作绝缘层，再对其填充热电材料以形成环形热电柱结构，然后制作金属布线、保护层以及支撑衬底等以完成制作。本发明的硅热...
徐德辉熊斌王跃林
文献传递
一种微机械磁场传感器及其制备方法
本发明提供一种微机械磁场传感器及其制备方法，属于微机电系统领域。该方法通过在器件结构层上沉积一具有接触孔的牺牲层，然后在所述牺牲层上制备金属线圈，接着腐蚀掉所述牺牲层，最后利用干法刻蚀制作出器件结构，并将器件结构进行释放...
熊斌吴国强徐德辉王跃林
一种光学读出红外探测器结构及其制作方法
本发明提供一种光学读出红外探测器结构及其制作方法，所述探测器结构至少包括：玻璃衬底和通过第二锚悬空于所述玻璃衬底上的悬浮结构；所述悬浮结构包括可见光反射层、红外吸收层以及支撑梁；所述可见光反射层悬空于所述玻璃衬底上，所述...
冯飞王跃林李昕欣
文献传递
一种柔性温度传感器的制作方法
本发明公开了一种柔性温度传感器的制作方法。其特征在于首先在载体硅片上涂覆一层聚二甲基硅氧烷(PDMS)中间夹层，在室温固化后，用氧等离子体活化其表面；紧接着在上面重叠涂覆高粘度聚酰亚胺(PI)预聚体并用阶梯式工艺进行预固...
车录锋肖素艳李昕欣王跃林
文献传递
一种非致冷热电堆红外探测器及制作方法
本发明涉及一种非致冷热电堆红外探测器及制作方法，其特征在于在非致冷热电堆红外探测器中的红外吸收区上制作了一个微型加热器。由于微型加热器的制作工艺与热电堆的制作工艺完全兼容，两者实现了同一芯片集成。利用微型加热器对封装后红...
熊斌徐德辉王跃林
文献传递
一种硅柱通孔互连结构及其制作方法
本发明提供一种硅柱通孔互连结构及其制作方法，该结构包括第一硅片以及与该第一硅片键合的第二硅片；所述第一硅片和第二硅片键合后接触孔部分形成用于电连接的硅柱通孔结构和非接触孔部分形成金属环的密封结构；所述硅柱通孔结构上的金属...
熊斌蒋万里徐德辉王跃林马颖蕾
文献传递
具有弧度可调的圆弧形加热膜区的三维微型加热器及方法
本发明涉及具有弧度可调的圆弧形加热膜区的三维微型加热器和方法，其特征在于横截面呈圆弧形凹槽且弧度可调的加热膜区通过支撑悬梁与衬底框架相连，圆弧形凹槽的弧度通过刻蚀方法进行调节，加热电阻丝以折线或曲线的形式排布在加热膜区凹...
李铁许磊王跃林
文献传递
数片硅同时自停止腐蚀技术研究
1996年
本文从理论和实验上证明了数片硅同时自停止腐蚀的可行性。结果表明:KOH溶液非常适用于该技术;当几片硅同时进行电化学腐蚀时不会互相影响;而且当它们的开路电位(OCP)、钝化电位(PP)以及各片硅腐蚀完成的时间均有差别时,都能有效地实现自停止。实验以4片硅同时自停止腐蚀为例,最后所得的4片硅膜厚相差不到1μm。
周伟勤徐义刚王跃林
关键词：电化学腐蚀
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