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罗剑波

作品数：6 被引量：2H指数：1
供职机构：浙江大学更多>>
发文基金：中国航空科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 3篇曲面
  • 3篇激光
  • 3篇光刻
  • 2篇调焦
  • 2篇信号
  • 2篇物镜
  • 2篇误差信号
  • 2篇激光光刻
  • 2篇胶层厚度
  • 2篇光刻物镜
  • 2篇分束器
  • 1篇旋涂
  • 1篇衍射
  • 1篇衍射效率
  • 1篇透射
  • 1篇球面
  • 1篇球心
  • 1篇面阵
  • 1篇膜厚
  • 1篇基底

机构

  • 6篇浙江大学

作者

  • 6篇梁宜勇
  • 6篇罗剑波
  • 4篇陈龙江
  • 3篇杨国光
  • 2篇田丰
  • 2篇陈龙江
  • 2篇张春晖
  • 1篇白剑
  • 1篇张春辉

传媒

  • 1篇光电子．激光
  • 1篇航空科学技术

年份

  • 3篇2010
  • 2篇2009
  • 1篇2007
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
球面旋涂胶层厚度分布模型及其实验研究被引量：2
2009年
创建一种光刻胶离心式旋涂过程中基于流体力学分析的凸面胶厚分布及胶厚均匀性模型,根据曲面流体运动方程以及凸面基片的面型特征得到了凸面恒速甩胶过程中胶层厚度的分布公式,结合凸面流体层流条件和牛顿流体的质量连续方程推导出胶厚分布与胶液类型、初始胶液粘度和密度、转速、基片几何尺寸以及甩胶时间等参数的关系式,利用光谱椭偏仪和台阶仪所测得的结果对该模型进行了验证,两者有较好的吻合,同时建立了胶厚均匀性与甩胶转速、甩胶时间的关系式,该模型可跟踪、监控和改进预光刻过程中凸面胶层的均匀性,以便改善最后的光刻线条质量。
陈龙江罗剑波梁宜勇张春辉杨国光
曲面胶厚全场检测装置及其检测方法
本发明公开了一种曲面胶厚全场检测装置及其检测方法。该检测装置包括可调谐激光器、透镜、分光棱镜、透镜和光电探测面阵CCD，可调谐激光器的出射光线经过透镜后经过分光棱镜反射向透镜，光线经过透镜后在被检表面反射，在被检表面反射...
梁宜勇张春晖陈龙江罗剑波
文献传递
一种高精度的恒姿态曲面调焦装置及其方法
本发明是一套曲面调焦装置和调焦方法。本发明调焦装置由分束器、光刻物镜、普通物镜、针孔、调焦探测器等组成。其最大特点是在曲面调焦中可以保持曲面基底和光刻物镜两者姿态不变，而能实现高精度调焦。本发明调焦方法是通过对相位误差信...
梁宜勇罗剑波田丰陈龙江杨国光
文献传递
航空制导武器上的光学微结构
2010年
光学微结构衍射面具有独特的色散特性和高设计自由度,利用光学微结构可以设计轻巧的衍折混合光学系统。光学微结构构成的普通衍射、谐衍射及多层衍射具有不一样的衍射效率特性。金刚石车床是加工红外光学微结构的理想手段,而曲面激光光刻是加工可见、紫外波段光学微结构的新方法。
梁宜勇白剑陈龙江罗剑波
关键词：衍射效率
一种高精度的恒姿态曲面调焦装置及其方法
本发明是一套曲面调焦装置和调焦方法。本发明调焦装置由分束器、光刻物镜、普通物镜、针孔、调焦探测器等组成。其最大特点是在曲面调焦中可以保持曲面基底和光刻物镜两者姿态不变，而能实现高精度调焦。本发明调焦方法是通过对相位误差信...
梁宜勇罗剑波田丰陈龙江杨国光
文献传递
曲面胶厚检测装置及曲面胶厚逐点检测方法
本发明公开了一种曲面胶厚检测装置及曲面胶厚逐点检测方法。该曲面胶厚检测装置包括激光发射器、导轨、分光棱镜、第一光功率计、第二光功率计和透镜，分光棱镜设置于导轨上，激光发射器发出的光线照射在分光棱镜上，经过分光棱镜后的透射...
张春晖梁宜勇陈龙江罗剑波
文献传递
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