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一种锗硅肖特基二极管及其制作方法: 本发明涉及锗硅肖特基二极管及其制作方法，它包括自下而上依次迭置的欧姆接触电极、硅衬底和开有窗口的氮化硅层，在氮化硅层窗口内有锗硅层和镍硅化合物层，其中镍硅化合物层在锗硅层的上面，在氮化硅层的窗口上覆盖与镍硅化合物层接触的...; 叶志镇吴贵斌唐九耀赵星刘国军; 文献传递

一种多晶锗硅肖特基二极管及其制备方法: 本发明的多晶锗硅肖特基二极管包括自下而上依次迭置的硅衬底、二氧化硅层、镍硅化物或钴硅化物层、并列迭在镍硅化物或钴硅化物层上面的多晶锗硅层与欧姆接触电极以及迭在多晶锗硅层上面的势垒金属层。制作步骤如下：先在硅衬底上生长一层...; 叶志镇吴贵斌赵星刘国军; 文献传递

SiGe／Si异质结光电器件被引量：2: 2006年; SiGe／Si异质结光电器件及其光电集成(OEIC)是硅基光电研究的一个非常引人注目的领域。综述了SiGe／Si异质结材料的基本性质,SiGe／Si异质结光电器件的结构、性能、应用及其光电集成。重点介绍了SiGe／Si光电探测器及其与其他相关器件的集成。; 刘国军叶志镇吴贵斌孙伟峰赵星赵炳辉; 关键词：SIGE/SI异质结光电器件光电集成

H_2对UHV/CVD低温选择性外延生长Si_(1-x)Ge_x的影响被引量：2: 2006年; 利用超高真空化学气相沉积(UHV/CVD)成功实现了Si1-xGex的低温选择性外延生长,并研究了H2对选择性外延生长的影响及其作用机理.以Si H4和GeH4为反应气源,在开有6mm×6mm窗口氧化硅片上进行Si1-xGex外延层的生长.首先分别以不含H2(纯GeH4)和含H2(90%H2稀释的GeH4)的两种Ge源进行选择性外延生长.通过SEM观察两种情况下氧化硅片表面,发现H2的存在对选择性外延生长有至关重要的作用.接着以90%H2稀释的GeH4为Ge源,变化Si源和Ge源的流量比改变H2分压,以获得Si H4和GeH4(90%H2)的最佳流量比,使外延生长的选择性达到最好.利用SEM观察在不同流量比时,经40min外延生长后各样品的表面形貌,并对其进行比较,分析了H2分压在Si1-xGex选择性外延生长中的作用机理.; 赵星叶志镇吴贵斌刘国军赵炳辉唐九耀; 关键词：UHV/CVD SI1-XGEX

一种选择性外延锗硅薄膜的制备方法: 本发明公开了选择性外延锗硅薄膜的制备方法，其步骤如下：先在硅衬底上热氧化一层二氧化硅层，在二氧化硅层上光刻出窗口，然后放入超高真空化学气相沉积设备的生长室中，生长室抽真空至少10－5Pa，加热硅衬底至400～700℃，生...; 叶志镇吴贵斌刘国军赵星; 文献传递

纳米纤维素与金属有机框架材料复合膜的制备与性能研究: 在自然界中存在的天然高分子材料里，纤维素因为其来源广泛且具有可生物降解等优点，成为很多环保材料的原材料，由纤维素制备得到纳米纤维素也在纳米生物科技领域表现出巨大的潜力。近年来，空气污染受到人们越来越多的重视，房屋装修产生...; 赵星; 关键词：纳米纤维素复合膜

金属诱导生长与超高真空化学气相沉积方法相结合制备多晶锗硅薄膜被引量：3: 2006年; 采用金属Ni诱导与超高真空化学气相沉积(UHVCVD)相结合的方法,在热氧化硅衬底上生长了多晶锗硅薄膜.利用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(SEM)等对多晶锗硅薄膜的质量、表面形貌进行了测试分析,并就生长参数以及金属Ni对薄膜性能的影响进行了研究.结果表明1)在420—500℃范围内,金属Ni具有明显的诱导作用;2)Ni层厚度对薄膜质量及形貌的影响使得晶粒尺寸随Ni厚度增加存在一极大值.在Ni层厚度为60nm时,能够获得晶粒尺寸均匀,晶粒大小为500—600nm,结晶质量良好的多晶锗硅薄膜.; 吴贵斌叶志镇赵星刘国军赵炳辉; 关键词：超高真空化学气相沉积金属诱导镍

一种多晶锗硅薄膜的制备方法: 本发明公开的多晶锗硅薄膜的制备方法，其步骤如下：先将硅衬底清洗干净后放入热氧化炉中，在硅衬底上热氧化一层二氧化硅层；然后利用电子束蒸发，在热氧化后的硅片上蒸镀一层金属镍或金属钴；再将镀好镍或钴的样品放入超高真空化学气相沉...; 叶志镇吴贵斌赵星刘国军; 文献传递

一种锗硅肖特基二极管及其制作方法: 本发明涉及锗硅肖特基二极管及其制作方法，它包括自下而上依次迭置的欧姆接触电极、硅衬底和开有窗口的氮化硅层，在氮化硅层窗口内有锗硅层和镍硅化合物层，其中镍硅化合物层在锗硅层的上面，在氮化硅层的窗口上覆盖与镍硅化合物层接触的...; 叶志镇吴贵斌唐九耀赵星刘国军; 文献传递

水位变化对高铁路基动力特性及累积变形特性的影响研究: 高速铁路路基服役时间长达百年，在长期服役过程中会经受降雨、地下水位变化等于湿循环的作用。使得路基填料的物理力学性质发生改变，加剧轨道路基结构的振动，增加路基在列车动载作用下的累积变形。从而影响了列车运行的安全和舒适，降低...; 赵星; 关键词：高铁路基模型试验水位变化动土压力; 文献传递

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赵星