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周圆苑
周圆苑
作品数:
3
被引量:3
H指数:1
供职机构:
四川大学材料科学与工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
电气工程
理学
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合作作者
朱建国
四川大学材料科学与工程学院
肖定全
四川大学材料科学与工程学院
孙宇澄
四川大学材料科学与工程学院
李雪冬
绵阳师范学院物理与电子工程学院
朱基亮
四川大学材料科学与工程学院
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铁电
2篇
铁电薄膜
2篇
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2篇
快速退火
1篇
性能研究
1篇
射频磁控
1篇
射频磁控溅射
1篇
升温速率
1篇
两步法
1篇
溅射
1篇
RTA
1篇
SOL-GE...
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BI
1篇
FEO
1篇
LA
1篇
磁控
1篇
磁控溅射
机构
3篇
四川大学
1篇
绵阳师范学院
作者
3篇
肖定全
3篇
朱建国
3篇
周圆苑
1篇
晋勇
1篇
田云飞
1篇
朱基亮
1篇
梁金娥
1篇
李海敏
1篇
李雪冬
1篇
孙宇澄
1篇
张文
传媒
1篇
压电与声光
1篇
电子元件与材...
1篇
第十二届全国...
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1篇
2010
1篇
2009
1篇
2008
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升温速率对Bi_(0.98)La_(0.02)FeO_3-PbTiO_3薄膜结构性能的影响
被引量:1
2010年
采用sol-gel法在SiO2/Si(100)衬底上制备了0.68(Bi0.98La0.02)FeO3-0.32PbTiO3(BLFPT)薄膜。采用快速退火技术,以2~40℃/s速率升温、在700℃下保温100s对BLFPT薄膜进行了后续处理。研究了升温速率对BLFPT薄膜结构性能的影响。XRD测试结果显示BLFPT薄膜为赝立方结构。SEM和AFM结果表明,当升温速率为2℃/s时,BLFPT薄膜表面晶粒更为均匀致密,粗糙度最小。XPS分析显示,Bi、Fe和Ti分别主要以化合态Bi2O3、Fe2O3和TiO2的形式存在。
周圆苑
李海敏
田云飞
肖定全
朱建国
关键词:
SOL-GEL法
快速退火
0.68BiFeO3-0.32PbTiO3薄膜的制备和性能研究
本文采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法制各了0.68BiFeO3-0.32PbTiO3(BFPT)薄膜。XRD测试结果表明BFPT具有良好的结晶性能。600℃退火10 min的8层BFPT薄膜厚度约为860nm,各层厚...
梁金娥
周圆苑
张文
晋勇
肖定全
朱建国
关键词:
铁电薄膜
文献传递
两步法快速退火对PSTT5铁电薄膜性能的影响
被引量:2
2009年
采用射频磁控溅射法在LSCO/Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了0.95Pb(Sc0.5Ta0.5)O3-0.05PbTiO3(PSTT5)铁电薄膜。研究了不同的快速退火(RTA)工艺对PSTT5薄膜的结晶性能和铁电性能的影响。实验结果表明,经两步法快速退火,PSTT5薄膜具有完全钙钛矿结构且呈(220)取向。PSTT5薄膜的铁电性能测试结果也表明,采用两步法RTA处理的PSTT5薄膜具有更好的铁电性能,其剩余极化强度(2Pr)可达25.4μC/cm2。
孙宇澄
李雪冬
周圆苑
朱基亮
肖定全
朱建国
关键词:
射频磁控溅射
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