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张晶

作品数：2 被引量：25H指数：2
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
相关领域：机械工程金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇大行程
  • 1篇单频激光干涉...
  • 1篇电机
  • 1篇直线电机
  • 1篇伺服
  • 1篇伺服控制
  • 1篇精密机床
  • 1篇机床
  • 1篇激光干涉
  • 1篇激光干涉仪
  • 1篇极限环
  • 1篇光干涉仪
  • 1篇干涉仪
  • 1篇超精
  • 1篇超精密
  • 1篇超精密定位
  • 1篇超精密机床

机构

  • 2篇哈尔滨工业大...

作者

  • 2篇苏宝库
  • 2篇王立松
  • 2篇张晶
  • 1篇董申
  • 1篇李生

传媒

  • 1篇机械设计与制...
  • 1篇组合机床与自...

年份

  • 2篇2001
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
基于减小间隙极限环的超精密机床伺服控制技术研究被引量：2
2001年
通过分析超精密机床伺服控制系统的特性 ,得出系统中传动部件的间隙非线性环节是影响系统性能的主要原因。为补偿间隙的影响 ,本文提出了在不改变原有的控制器基础上 ,通过引入速度反馈而减小间隙极限环的方法。将该方法应用于实际系统中 ,得到了闭环定位时系统的最大稳态输出误差不超过± 4
张晶王立松李生苏宝库
关键词：超精密机床极限环伺服控制
大行程高精度两级定位工作台的控制方法研究被引量：23
2001年
研究了具有宏微两级驱动双定位工作台的控制技术，该工作台采用直线电机进行大位移驱动，来保证较大的工作行程和较快的响应速度，而采用电致伸缩微位移器完成精密位置驱动，利用单频激光干涉仪实现闭环位置反馈。将该系统应用于实际中，可以实现５００ｍｍ的工作行程内小于０．０２μｍ的重复定位精度。
王立松苏宝库董申张晶
关键词：直线电机单频激光干涉仪超精密定位
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