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王占银
王占银
作品数:
3
被引量:8
H指数:1
供职机构:
南开大学
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相关领域:
理学
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合作作者
许京军
南开大学
孔勇发
南开大学
陈绍林
南开大学
王红旗
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王红旗
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人工晶体学报
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1篇
2008
2篇
2006
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制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法
一种制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法。该方法可以制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片。其具体过程是,将铌酸锂或钽酸锂晶片和含锂化合物放置在密闭容器中,将密闭容器内部抽真空,使真空度小于0.5帕,并将容器内部保持一定的高...
张玲
孙军
许京军
孔勇发
陈绍林
刘士国
黄自恒
王红旗
王占银
楼慈波
刘宏德
高峰
文献传递
大直径铌酸锂晶片化学机械抛光研究
铌酸锂晶体由于其优良的铁电、压电、电光、非线性光学性能而用途广泛。随着器件的发展,对材料的内在质量及加工要求也越来越高,传统铌酸锂晶体的抛光主要是以金刚石研磨膏为磨料的机械抛光方法,这种抛光方法由于磨料硬及分散不均匀等原...
王占银
关键词:
化学机械抛光
非线性光学
文献传递
大直径铌酸锂晶片的化学机械抛光研究
被引量:8
2006年
本文采用化学机械抛光方法,以S iO2作为抛光液的研磨介质,对76mmZ切向的铌酸锂晶片的抛光进行了深入的研究。分析了影响铌酸锂晶片抛光效果的因素,通过优化工艺参数,使铌酸锂的表面粗糙度Ra达到0.387nm,平面面形误差小于4μm。
王占银
孔勇发
陈绍林
许京军
关键词:
化学机械抛光
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