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许兴中
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学技术大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
金属学及工艺
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合作作者
荣皓
中国科学技术大学工程科学学院精...
刘勇
中国科学技术大学工程科学学院精...
赵钢
中国科学技术大学工程科学学院精...
褚家如
中国科学技术大学工程科学学院精...
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中国科学技术...
作者
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许兴中
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褚家如
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赵钢
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刘勇
1篇
荣皓
传媒
1篇
现代制造工程
年份
2篇
2011
共
2
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用于热机械纳米结构加工的高分子薄膜微尺度属性测量
随着微纳米技术和纳米科学的发展,特别是最近的二十年来,一批新型的热机械纳米结构加工工艺得到发展和应用,如纳米压印技术、基于扫描探针的热机械存储技术,蘸水笔技术及激光图形化技术等等。这也使得微纳尺度结构的加工在分辨率、精度...
许兴中
关键词:
高分子薄膜
微尺度
文献传递
聚甲基丙烯酸甲酯薄膜的弹性模量测量研究
被引量:3
2011年
高聚物材料由于其易热变形、常温下状态稳定且不易被破坏等优点,是新型的存储技术———基于扫描探针显微术(SPM)的热机械超高密度信息存储技术的理想存储介质材料,存储介质的力学特性是影响热机械形成的数据斑形貌的重要因素。实验使用纳米压痕法对270nm厚聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)薄膜的弹性模量进行测试,采用两次保载过程,有效地消除了材料的黏性对测试结果的影响。同时研究了基底效应的影响,通过引入与深度相关的影响因子估算基底的影响,得到PMMA薄膜在常温下的弹性模量为6.5GPa。
许兴中
赵钢
刘勇
荣皓
褚家如
关键词:
聚甲基丙烯酸甲酯
纳米压痕
弹性模量
黏性
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