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韩宝东

作品数：3 被引量：5H指数：1
供职机构：北京工业大学电子信息与控制工程学院更多>>
发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金北京市教委资助项目更多>>
相关领域：电子电信冶金工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇冶金工程

主题

  • 3篇汲取
  • 3篇铂
  • 1篇离子
  • 1篇纳米
  • 1篇快恢复二极管
  • 1篇二极管
  • 1篇辐照剂量
  • 1篇高剂量

机构

  • 3篇北京工业大学

作者

  • 3篇韩宝东
  • 2篇亢宝位
  • 2篇胡冬青
  • 1篇吴郁
  • 1篇贾云鹏
  • 1篇谢书珊

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 3篇2006
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
高剂量轻离子辐照感生缺陷汲取铂的试验研究
研究2×1016 cm-2剂量氦注入感生缺陷形成的高浓度空位,分别在700℃／100min、700℃／100min+900℃／60min和 700℃／100min+1000℃／100min等退火条件下形成的纳米空腔在80...
胡冬青亢宝位吴郁韩宝东
文献传递
局域铂掺杂寿命控制快恢复二极管的研究被引量：4
2006年
利用质子辐照感生的局域高浓度空位缺陷对样品表面层预生成的铂硅合金中的铂原子进行汲取,形成与感生缺陷分布相似的局域铂分布,首次实现了具有局域铂掺杂的快恢复二极管中的局域寿命控制技术。报告了改变质子注入剂量对二极管反向恢复时间和反向漏电流等参数的影响。结果表明,当辐照剂量较低时,随着辐照剂量的增加,电活性铂浓度不断提高,器件性能不断优化。而辐照剂量增加到一定程度,有效区电活性铂杂质的浓度会趋向饱和,二极管反向恢复时间基本上不再继续减小。
韩宝东胡冬青谢书珊贾云鹏亢宝位
关键词：辐照剂量快恢复二极管
面向FRD寿命控制技术的纳米空腔汲取铂的试验研究
理论上轴向局域寿命控制技术是目前使快恢复二极管的各项性能达到折衷优化的最佳技术，是目前寿命控制领域的研究热点问题。但是，已有He+注入感生缺陷技术尚具有漏电流过大的严重缺陷，用此感生缺陷汲取铂形成局域铂掺杂的技术漏电虽小...
韩宝东
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