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仰明阳

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：宁波大学更多>>
相关领域：文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇文化科学

主题

  • 3篇微波系统
  • 2篇等离子体
  • 2篇等离子体密度
  • 2篇微波激励
  • 2篇微波泄漏
  • 2篇材料类型
  • 1篇电路
  • 1篇电路单元
  • 1篇真空装置
  • 1篇石英
  • 1篇外围设备
  • 1篇微波源

机构

  • 3篇宁波大学

作者

  • 3篇周骏
  • 3篇颜飞彪
  • 3篇仰明阳

年份

  • 1篇2011
  • 2篇2010
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种等离子体清洗装置
本发明公开了一种等离子体清洗装置，其主要由微波系统和反应装置组成，微波系统包括微波室、微波源及微波控制电路，通过微波控制电路可对微波源进行调控，实现对产生的等离子体密度的调控；本清洗装置通过采用微波激励的方式，有效地避免...
周骏林豪仰明阳颜飞彪
一种等离子体清洗装置
本发明公开了一种等离子体清洗装置，其主要由微波系统和反应装置组成，微波系统包括微波室、微波源及微波控制电路，通过微波控制电路可对微波源进行调控，实现对产生的等离子体密度的调控；本清洗装置通过采用微波激励的方式，有效地避免...
周骏林豪仰明阳颜飞彪
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一种等离子体清洗装置
本实用新型公开了一种等离子体清洗装置，包括主要由气体供应装置、真空装置和控制装置组成的外围设备和主体设备，所述的控制装置包括气路单元和电路单元，主体设备主要由微波系统和反应装置组成，微波系统包括微波室、设置于所述的微波室...
周骏林豪仰明阳颜飞彪
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