卢明臻
- 作品数：34 被引量：59H指数：5
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：国家科技攻关计划国家科技支撑计划公益性行业科研专项更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
- 多倍程激光干涉仪光路几何特性分析被引量：3
- 2008年
- 针对纳米计量高分辨力的要求，应用光学倍程法设计了一套基于Michelson激光干涉仪原型的多倍程激光干涉系统。该系统光源由保偏光纤直接导入，采用共光路、立体空间布局设计。通过建立模型分析该干涉系统的几何特性，得出移动镜偏转对该系统带来的影响可以得到有效补偿，因而光路具有很好的稳定性。出射的参考光与测量光始终保持平行，便于干涉系统光路的整体布局与信号接收，同时易于光路的调节从而获得对比度高、信噪比好的干涉信号。
- 施玉书高思田卢明臻崔建军杜华
- 关键词：计量学干涉仪
- 大范围纳米几何结构测量系统关键技术研究
- 卢明臻
- 关键词：计量学气体轴承
- 基于HSPMI的激光干涉位移校准系统的构建及实验研究被引量：5
- 2013年
- 基于高稳定性平面镜干涉仪（HSPMI）构建了一套激光干涉纳米位移校准系统。描述了该系统的组成，设计了基于VME总线的数字信号处理计算机软件程序，对影响系统测量不确定度的各类误差进行了分析，得出该校准系统测量不确定度为2．93nm。分别对系统稳定性和纳米级位移测试进行了实验，验证了构建系统的有效性和实用性。
- 李庆贤高思田李伟施玉书卢明臻陈本永
- 关键词：计量学激光干涉误差分析
- 量值溯源与纳米几何量计量国际比对
- 尺度是纳米技术区别于其它技术的本质特征。纳米科学技术研究、纳米新材料研发及其纳米产品制造都依赖于对纳米尺度上各种特性的高准确度和高重复性测量。可以说,纳米测量仪器和计量学研究是保证纳米技术成功发展的关键因素,而其中纳米几...
- 高思田杜华卢明臻崔建军施玉书
- 关键词：几何量计量
- 文献传递
- 多倍程激光干涉仪光路几何特性分析
- 针对纳米计量高分辨力的要求,应用光学倍程法设计了一套基于Michelson激光干涉仪原型的多倍程激光干涉系统.该系统光源由保偏光纤直接导入,采用共光路、立体空间布局设计。通过建立模型分析该干涉系统的几何特性,得出移动镜偏...
- 施玉书高思田卢明臻崔建军杜华
- 文献传递
- 纳米力学测量系统的载荷与位移溯源校准方法研究被引量：4
- 2012年
- 对纳米力学测量系统在准静态压人模式下的载荷因子、位移因子的量值溯源校准方法进行了研究。通过一组标准砝码产生标准载荷，拟合标准砝码质量和传感器输出电压得到载荷因子；利用激光干涉仪测量压针位移，拟合干涉仪位移值和传感器输出电压得到位移因子。采用标准样品对校准结果进行了试验验证，校准后的纳米力学测量系统在国际比对测量中取得了良好结果。
- 邓墨杰高思田卢明臻杜华魏小林
- 关键词：计量学校准
- 计量型原子力显微镜的位移测量系统(英文)被引量：14
- 2012年
- 针对纳米结构表征和纳米制造的质量控制需要,中国计量科学研究院设计并搭建了一台计量型原子力显微镜用于纳米几何结构的测量。为了将位移精确溯源到国际单位米,研制了单频8倍程干涉仪测量位移,样品表面形貌则由接触式原子力显微镜测量。一个立方体反射镜与原子力显微镜的测头固定,作为干涉仪的参考镜。两个互相垂直的干涉仪用于测量样品与探针在x-y方向的相对位置。样品台置于具有三面反射镜的零膨胀玻璃块上,由压电陶瓷位移台驱动。另外两台干涉仪测量样品与探针在z方向的位移,探针针尖位于干涉仪光束的交点以减小Abbe误差。由于光学器件的缺陷产生的相位混合会引起非线性误差,采用谐波分离法拟合干涉信号来修正误差,修正后干涉仪测量误差减小为0.7nm。
- 李伟高思田卢明臻施玉书杜华
- 关键词：原子力显微镜非线性
- 计量型原子力测头模型研究及性能分析被引量：4
- 2007年
- 建立了具有立体光路的光束偏转法原子力测头的模型,给出测头的放大能力,证明光路不会对光束偏转法的分辨力造成影响.分析了光路特性,说明光斑运动轨迹与规律.以此为基础完成了一个用于纳米计量的原子力测头,测头读数可溯源.测头的重复性通过实验验证,测头信号实验标准差为0.318nm.该测头应用在“2.5维大范围纳米结构测量系统”中,对台阶高度样板进行测量,取得了良好结果.
- 卢明臻高思田杜华崔建军
- 激光干涉仪非线性误差修正方法、装置及应用其的干涉仪
- 本发明公开了一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法、装置及应用其的干涉仪，本发明的方法是利用谐波分离修正法对所述干涉仪非线性误差进行修正，包括：步骤一，建立修正方程，以依据该修正方程，从干涉仪的两路干涉信号中获取干涉信号的...
- 高思田施玉书卢明臻杜华
- 一种空气轴承结构及其实现气膜厚度补偿的方法
- 本发明公开了一种空气轴承结构及其实现气膜厚度补偿的方法，该空气轴承结构安装于一气浮工作台与一基座之间形成支撑，空气轴承结构包括：微位移传递机构，装设于气浮工作台与基座之间；补偿气浮垫，面向气浮工作台的底面，装设于微位移传...
- 卢明臻高思田施玉书杜华崔建军
- 文献传递
