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夏国明

作品数：87 被引量：71H指数：6
供职机构：南京理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术交通运输工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 68篇专利
  • 15篇期刊文章
  • 3篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 19篇电子电信
  • 17篇自动化与计算...
  • 7篇交通运输工程
  • 5篇机械工程
  • 3篇航空宇航科学...
  • 1篇电气工程
  • 1篇农业科学
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 38篇陀螺
  • 21篇陀螺仪
  • 18篇硅微机械
  • 16篇微陀螺
  • 15篇微机械陀螺
  • 14篇单晶
  • 14篇单晶硅
  • 14篇硅片
  • 13篇加速度
  • 13篇加速度计
  • 13篇硅微陀螺仪
  • 13篇封装
  • 12篇单晶硅片
  • 12篇硅微机械陀螺
  • 10篇电路
  • 10篇微机械
  • 9篇零偏
  • 9篇封装结构
  • 8篇闭环
  • 7篇温度灵敏度

机构

  • 80篇南京理工大学
  • 7篇东南大学
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 87篇夏国明
  • 78篇裘安萍
  • 74篇施芹
  • 45篇赵阳
  • 21篇苏岩
  • 14篇丁衡高
  • 6篇王寿荣
  • 5篇杨波
  • 4篇杨亮
  • 3篇石然
  • 3篇林晨
  • 3篇张晶
  • 3篇赵健
  • 2篇梁杰
  • 2篇黄丽斌
  • 2篇吴志强
  • 2篇赵阳
  • 1篇杨海波
  • 1篇朱熙

传媒

  • 9篇光学精密工程
  • 2篇半导体技术
  • 1篇测控技术
  • 1篇传感技术学报
  • 1篇中国惯性技术...
  • 1篇Journa...
  • 1篇2009第八...
  • 1篇第五届全国信...

年份

  • 12篇2024
  • 10篇2023
  • 10篇2022
  • 5篇2021
  • 2篇2020
  • 6篇2019
  • 3篇2018
  • 7篇2017
  • 8篇2016
  • 5篇2015
  • 10篇2014
  • 2篇2013
  • 3篇2011
  • 1篇2010
  • 2篇2009
  • 1篇2007
共 87 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
具有音叉式驱动机构的解耦型双质量硅微机械陀螺仪结构
本发明公开了一种具有音叉式驱动机构的解耦型双质量硅微机械陀螺仪结构，用于测量垂直于基座水平的角速率测量仪器，由上层单晶硅、中间层单晶硅、下层单晶硅构成，上层单晶硅为布置有信号输入/出的引线的硅微机械振动陀螺仪封装盖板，中...
裘安萍施芹赵阳夏国明
一种MEMS器件残余应力温度特性的测量方法
本发明公开了一种MEMS器件残余应力温度特性的测量方法，将MEMS器件的机械结构和双端固支音叉谐振器集成在同一个芯片上，利用双端固支音叉谐振器频率与其梁上的轴向应力具有相关性，通过测试不同温度下的双端固支音叉谐振器频率，...
裘安萍施芹夏国明
文献传递
基于微谐振器的高精度温度测量系统
本发明提供了一种基于微谐振器的高精度温度测量系统，包括微谐振器、驱动电路、测频电路和温度标定电路，微谐振器由双端固支音叉、平板电容和基底组成，驱动电路与微谐振器形成闭环回路，保证微谐振器产生稳定的振荡信号，测频电路测量随...
施芹汤卫丰夏国明裘安萍苏岩丁衡高
文献传递
一种基于硼硅酸盐玻璃退火成型的微型半球谐振陀螺及制造方法
本发明公开了一种基于硼硅酸盐玻璃退火成型的微型半球谐振陀螺及其制造方法，即将一个硅片作为基底构成硅基底，硅片上表面刻蚀一个圆柱形腔体及腔体圆心处的中心支柱，该中心支柱与半球谐振子中心相连，形成悬空结构；同时，在硅片上表面...
裘安萍施芹夏国明
一种基于数字信号处理器平台的微分测频方法及系统
本发明提供一种基于数字信号处理器平台的微分测频方法，包括以下步骤：步骤1，提供微分测频系统；步骤2，带通滤波器对输入的谐振信号进行滤波；步骤3，裂相器将滤波后的信号分成两路信号，一路信号进行希尔伯特变换，一路信号进行低通...
夏国明林晨施芹裘安萍苏岩丁衡高
硅微机械谐振式加速度计集成测控装置
本实用新型公开一种硅微机械谐振式加速度计集成测控装置，包括第一振荡电路(302)、第二振荡电路(303)、第一频率测量电路(304)、第二频率测量电路(305)和SPI数字接口(306)；所述第一振荡电路(302)、第二...
夏国明赵阳裘安萍施芹
具有应力调节的MEMS传感器芯片封装结构与方法
本发明公开了一种具有应力调节的MEMS传感器封装结构与方法，封装结构在MEMS传感器芯片衬底底部粘接有过渡片，过渡片底部镀有金层，金层图像关于MEMS传感器芯片结构中心对称；过渡片与管壳底部之间设有金锡焊层；芯片盖板上粘...
裘安萍施芹赵阳夏国明
硅微机械陀螺表头温度特性研究与测试被引量：7
2009年
硅微机械陀螺目前已经能达到较高的精度,但温度的变化对它的性能有较大的影响。为了改善硅微机械陀螺的温度性能,从硅微机械陀螺的基本原理入手,通过分析及测量微机械表头的传递函数中各个参数随温度的变化规律以及它们对陀螺性能的影响,找到了影响陀螺温度性能的关键参数和改进方法,对陀螺的微结构设计和陀螺的温度补偿电路设计都有重要的指导意义。
夏国明王寿荣杨波
关键词：硅微机械陀螺温度特性微小电容测量
全解耦硅微陀螺仪研究
研究了一种全解耦硅微陀螺仪，构建了两模态简化运动模型，推导简化驱动位移和敏感位移方程。用ANSYS软件进行了模态分析，仿真表明，两模态实现较好解耦。利用国内DDSOG工艺对微陀螺进行了加工，并采用平行封焊工艺实现真空封装...
杨波王寿荣黄丽斌夏国明
关键词：硅微陀螺仪模态分析真空封装测控电路
文献传递网络资源链接
用于硅微音叉陀螺的集成测控单元
本发明公开一种用于硅微音叉陀螺的集成测控单元，包括：用于测试陀螺检测轴的振动位移的跨阻式前置放大器(202)、用于检测驱动轴振动幅值并输出运动速度信号的电荷式前置放大器(203)、用于保持驱动轴的振动速度不变的自动增益控...
夏国明赵阳裘安萍施芹
文献传递
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